二次配工程規(guī)范

1、中緯積體電路(寧波)有限公司NingboSINOMOSSemiconductInc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規(guī)範(fàn)頁數(shù)PAGE:1OF32資料號碼SPECNONSSP006版本REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產(chǎn)非由書面許可不準透露或使用本文件亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用THEINFMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNingboSINOMOSS

2、emiconductInc.SHALLNOTBEDISTRIBUTEDTHEREPRODUCEDDISCLOSEDINWHOLEINPARTWITHOUTPRIPERMISSIONOFNingboSINOMOSSemiconductInc.May222003filename：二次配工程規(guī)范.pdf中緯積體電路中緯積體電路(寧波寧波)新建工程新建工程氣體管線二次配工程規(guī)範(fàn)中緯積體電路(寧波)有限公司NingboSINOMOSSemicon

3、ductInc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規(guī)範(fàn)頁數(shù)PAGE:3OF32資料號碼SPECNONSSP006版本REV.0本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產(chǎn)非由書面許可不準透露或使用本文件亦不準複製或轉(zhuǎn)變成任何其他形式使用THEINFMATIONCONTAINEDHEREINISTHEEXCLUSIVEPROPERTYOFNingboSINOMOSSemiconductInc.SHALLNOTBEDISTRIBUTE

4、DTHEREPRODUCEDDISCLOSEDINWHOLEINPARTWITHOUTPRIPERMISSIONOFNingboSINOMOSSemiconductInc.May222003filename：二次配工程規(guī)范.pdf1.目的目的為使設(shè)備機臺按照計劃順利裝機、運轉(zhuǎn)，且亦能維護HookUp二次配管施工之品質(zhì)及作業(yè)安全。本規(guī)範(fàn)如有任何疑慮依業(yè)主及總顧問公司解釋為準。2.範(fàn)圍範(fàn)圍2.1.製程設(shè)備氣體管線Hookup工程材料採購及管

5、路安裝；Hookup範(fàn)圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預(yù)留閥至機臺內(nèi)部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4N2氣瓶櫃出口接至機臺(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃架至機臺內(nèi)部接點(含VMBVMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責(zé)提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預(yù)留takeoff閥尺寸及數(shù)量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配

6、平面圖”(圖號SP211)；各VMBVMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP234)；GN2、PN2、PO2、CDA自takeoff閥至機臺間所需裝設(shè)之閥件，請參照”SP2二次配管詳圖”(圖號SP231)；而takeoff閥及VMBVMP與機臺銜接點等相關(guān)資料，請參照附件一”Bulkgastakeofflist”、附件二”

7、SpecialtygasVMBVMPlist”及附件三”CDAtakeofflist”。承包商需根據(jù)該表資料，設(shè)計至機臺管線之路徑。2.2.前項氣體管線Hookup工程之管路細部設(shè)計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto2000或以上版本圖檔予顧問及業(yè)主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機臺用量流程圖(P&ID)及機臺設(shè)備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業(yè)主確認。2.3