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文檔簡(jiǎn)介
1、低真空獲得和測(cè)量低真空獲得和測(cè)量(定容法測(cè)抽速)簡(jiǎn)介簡(jiǎn)介1.真空技術(shù)入門(mén)真空:低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)。1643年,意大利物理學(xué)家托里拆利(E.Tricelli)首創(chuàng)著名的大氣壓實(shí)驗(yàn),獲得真空。自然真空:氣壓隨海拔高度增加而減小,存在于宇宙空間。人為真空:用真空泵抽掉容器中的氣體。真空量度單位:1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760mmHg=760(Tr)1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=1.013x105Pa1Tr=133.3Pa真空區(qū)域的劃分目前尚無(wú)統(tǒng)一規(guī)定,常見(jiàn)的劃分
2、為:粗真空105—103Pa低真空103—101Pa高真空101—106Pa超高真空106—1010Pa極高真空1010Pa真空技術(shù)的應(yīng)用其中,Q為單位時(shí)間內(nèi)流入泵的氣體量。泵的抽氣速率S并不是常數(shù),隨P而變。b)極限壓強(qiáng)Pu(極限真空)c)最高工作壓強(qiáng)Pmd)工作壓強(qiáng)范圍(PuPm):泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍旋片機(jī)械泵105—102Pa吸附泵105—102Pa擴(kuò)散泵100—105Pa渦輪分子泵101—108P
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