冷凝泵機(jī)械結(jié)構(gòu)及工作原理

1、冷凝泵機(jī)械結(jié)構(gòu)及工作原理冷凝泵機(jī)械結(jié)構(gòu)及工作原理一、簡介一、簡介冷凝泵工作原理是通過冷凝或者俘獲分子來實(shí)現(xiàn)真空。它由一些低溫的表面（193oC255）來冷凝氣體分子。另外，冷凝泵也通過帶有活性炭的表面吸收不能被冷凍的氣體分子。1.冷凝泵機(jī)械結(jié)構(gòu)冷凝泵機(jī)械結(jié)構(gòu)1.壓縮機(jī)壓縮機(jī)將氦氣壓縮之后送到冷凍機(jī)里2.冷凍機(jī)冷凍機(jī)使被壓縮的氦氣在冷凍機(jī)里膨脹，冷卻作用3.泵殼泵殼泵體內(nèi)（擋板處）將氣體凝固，使氣體被吸空獲得真空上述的三個(gè)系統(tǒng)組成一個(gè)整體

2、的冷凝泵系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)。4、溫度計(jì)結(jié)構(gòu)：1.H2蒸汽壓溫度計(jì)2.半導(dǎo)體溫度計(jì)5一級冷頭材料:無氧銅溫度:70～100K通常80K功用；用來凝縮水蒸汽。6二級冷頭材料:無氧銅溫度:10～20K通常15～20K功用：主要用來凝縮N2、O2、Ar、CO2等飽和蒸汽壓高的氣體。7冷凍機(jī)目前冷凝泵中所使用的冷凍機(jī)有以下三種形式。①GM循環(huán)冷凍機(jī):最早被用于冷凝泵中的小型極低溫冷凍機(jī)它是根據(jù)Giffd和Mcmahon而發(fā)明研制具有很高可靠性、極低溫度的冷

3、凍機(jī)。如今也使用的很廣泛。②ModifiedSolvay循環(huán)冷凍機(jī):嚴(yán)格地說在熱力學(xué)上與GM循環(huán)不一樣但在實(shí)際上也可以看作是用在氣壓驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的GM循環(huán)冷凍機(jī)。③Sterling循環(huán)冷凍機(jī):是容壓縮和膨脹為一體的冷凍機(jī)在冷凝泵中一般作為最大型機(jī)種來使用但目前基本上不使用。8黃色連桿材料:黃色夾布膠木。9蓄冷器一級蓄冷器材料:黃銅網(wǎng)二級蓄冷器材料:鉛丸。其作用為:①當(dāng)活塞桿往上死點(diǎn)運(yùn)動(dòng)中(膨脹室容積逐漸增大)高壓進(jìn)氣閥打開蓄冷器冷卻進(jìn)入膨