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文檔簡(jiǎn)介
1、一、半導(dǎo)體物理發(fā)展史簡(jiǎn)介半導(dǎo)體物理學(xué)是研究半導(dǎo)體原子狀態(tài)和電子狀態(tài)以及各種半導(dǎo)體器件內(nèi)部電子過(guò)程的學(xué)科。是固體物理學(xué)的一個(gè)分支。研究半導(dǎo)體中的原子狀態(tài)是以晶體結(jié)構(gòu)學(xué)和點(diǎn)陣動(dòng)力學(xué)為基礎(chǔ),主要研究半導(dǎo)體的晶體結(jié)構(gòu)、晶體生長(zhǎng),以及晶體中的雜質(zhì)和各種類型的缺陷。研究半導(dǎo)體中的電子狀態(tài)是以固體電子論和能帶理論為基礎(chǔ),主要研究半導(dǎo)體的電子狀態(tài),半導(dǎo)體的光電和熱電效應(yīng)、半導(dǎo)體的表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)、半導(dǎo)體與金屬或不同類型半導(dǎo)體接觸時(shí)界面的性質(zhì)和所發(fā)生的過(guò)程
2、、各種半導(dǎo)體器件的作用機(jī)理和制造工藝等。半導(dǎo)體物理學(xué)的發(fā)展不僅使人們對(duì)半導(dǎo)體有了深入的了解,而且由此而產(chǎn)生的各種半導(dǎo)體器件、集成電路和半導(dǎo)體激光器等已得到廣泛的應(yīng)用。能帶理論的建立為半導(dǎo)體物理的研究提供了理論基礎(chǔ),晶體管的發(fā)明激發(fā)起人們對(duì)半導(dǎo)體物理研究的興趣,使得半導(dǎo)體物理的研究蓬勃展開(kāi),并對(duì)半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)、各種工藝引起的半導(dǎo)體能帶的變化、半導(dǎo)體載流子的平衡及輸運(yùn)、半導(dǎo)體的光電特性等作出理論解釋,繼而發(fā)展成為一個(gè)完整的理論體系——半導(dǎo)
3、體物理學(xué)。1947年,美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明了半導(dǎo)體點(diǎn)接觸式晶體管,從而開(kāi)創(chuàng)了人類的硅文明時(shí)代。1、半導(dǎo)體的起源法拉第在1833年發(fā)現(xiàn)硫化銀,它的電阻隨著溫度上升而降低。對(duì)半導(dǎo)體而言,溫度上升使自由載子的濃度增加,反而有助于導(dǎo)電,這也是半導(dǎo)體一個(gè)非常重要的物理性質(zhì)。1874年,德國(guó)的布勞恩注意到硫化物的電導(dǎo)率與所加電壓的方向有關(guān),這就是半導(dǎo)體的整流作用。1906年,美國(guó)發(fā)明家匹卡發(fā)明了第一個(gè)固態(tài)電子元件:無(wú)線電波偵測(cè)器,它使用金屬與硅或硫化
4、鉛相接觸所產(chǎn)生的整流功能,來(lái)偵測(cè)無(wú)線電波。整流理論能帶理論2、電晶體的發(fā)明3、積體電路:積體電路就是把許多分立元件制作在同一個(gè)半導(dǎo)體晶片上所形成的電路4、超大型積體電路二、半導(dǎo)體和集成電路的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)半導(dǎo)體材料的發(fā)展,現(xiàn)狀和趨勢(shì)第一代的半導(dǎo)體材料:以硅(包括鍺)材料為主元素半導(dǎo)體第二代半導(dǎo)體材料:以砷化鎵(GaAs)為代表的第二代化合物半導(dǎo)體材料第三代半導(dǎo)體材料:氮化物(包括SiC、ZnO等寬禁帶半導(dǎo)體)第三代半導(dǎo)體器件由于它們的獨(dú)
5、特的優(yōu)點(diǎn),在國(guó)防建設(shè)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)上有很重要的應(yīng)用,前景無(wú)限。下一代半導(dǎo)體材料:2010年10月4日,諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)揭曉,獲獎(jiǎng)?wù)呤怯?guó)曼徹斯特大學(xué)物理和天文學(xué)院的reGeim和KonstantinNovoselov,獲獎(jiǎng)理由為“二維空間材料石墨烯(graphene)方面的開(kāi)創(chuàng)性實(shí)驗(yàn)”。單層石墨烯強(qiáng)度大,耐高溫,電阻小,有希望成為代替硅鍺材料的下一代半導(dǎo)體材料。三、什么是摩爾定律?它有終結(jié)之日嗎?摩爾定律:集成電路上可容納的晶體管數(shù)目,約每隔
6、18個(gè)月便會(huì)增加一倍,性能也將提升一倍,當(dāng)價(jià)格不變時(shí);或者說(shuō),每一美元所能買到的電腦性能,將每隔18個(gè)月翻兩倍以上。這一定律揭示了信息技術(shù)進(jìn)步的速度。過(guò)去的50年基本上驗(yàn)證了Moe定律的有效性。1965年,每個(gè)芯片(chip)上只有65個(gè)三極管,現(xiàn)在有1.5億個(gè),2010年前后將會(huì)達(dá)到10億個(gè)。2000年CPU芯片上的線寬做到了0.18微米。2006年已經(jīng)做到0.06微米(或60nm納米)。如此發(fā)展下去有無(wú)盡頭、有無(wú)極限答案是肯定的。計(jì)
7、算機(jī)技術(shù)的發(fā)展將受到以下幾個(gè)方面的制約:①物理極限:隧道效應(yīng)、延遲和串音、散熱。②工藝極限:目前工業(yè)界采用的普通光刻系統(tǒng)只能用于0.13微米以上的工藝。進(jìn)一步發(fā)展,需要使用深超紫外線(其波長(zhǎng)為240nm);可是工藝進(jìn)一步達(dá)到100nmDUV也不行了。③經(jīng)濟(jì)可行性的極限:90年代建造一個(gè)生產(chǎn)0.25微米工藝芯片的車間大約需要20到25億美元使用0.18微米工藝時(shí),這一費(fèi)用則跳躍到30至40億美元。現(xiàn)在已經(jīng)進(jìn)入0.10微米的階段,一個(gè)車間的
8、費(fèi)用將達(dá)到100200億美元。由此我認(rèn)為,摩爾定律必定會(huì)有終結(jié)的一天。雖然它所闡述的趨勢(shì)一直延續(xù)至今,且非常精確地說(shuō)明了處理機(jī)能力和磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器存儲(chǔ)容量的發(fā)展,但是從各個(gè)方面來(lái)講,我認(rèn)為,它最終還是會(huì)失效的。理由如下:首先,如IBM研究員Carlerson所說(shuō),各行各業(yè)呈爆炸式成長(zhǎng)的時(shí)代終將告一段落,先是鐵路,后是航空業(yè),如今輪到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)了。從哲學(xué)角度來(lái)講,任何事物都是一分為二的,為了提高一方面的性能,必定要犧牲另一方面,目前的晶體管之
9、間的距離在不斷地縮小,130nm,90nm,65nm,45nm,32nm,22nm……相對(duì)的,出現(xiàn)的問(wèn)題也就越來(lái)越多,所使用的解決方案也越來(lái)越復(fù)雜;任何事物都不是絕對(duì)的,所以摩爾定律也只是對(duì)自然規(guī)律的一種近似,不能在任何范圍內(nèi)精確地反應(yīng)事物的規(guī)律性。其次,從技術(shù)方面講,在接近極限尺度時(shí),材料會(huì)有出現(xiàn)與宏觀狀態(tài)下不同的問(wèn)題。失效理由是材料與技術(shù)的極限,而不在于工藝本身。同時(shí),用作絕緣材料的二氧化硅,已逼近極限,如繼續(xù)縮小,將導(dǎo)致漏電、散熱
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