真空設(shè)計注意事項

1、真空系統(tǒng)設(shè)計中應(yīng)該注意的問題真空系統(tǒng)設(shè)計中應(yīng)該注意的問題1)真空元件如閥門、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯(lián)接時應(yīng)盡量作到抽氣管路短管道流導(dǎo)大導(dǎo)管直徑一般不小于泵口直徑這是系統(tǒng)設(shè)計的一條重要原則。但同時要考慮到安裝和檢修方便。有時為了防振和減少噪音允許機(jī)械泵設(shè)置在靠近真空室的泵房內(nèi)。(2)機(jī)械泵(包括羅茨泵)有振動要防止振動波及整個系統(tǒng)通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種不論采用那種軟管要保證在大氣壓力作用下不被壓癟。(3)真空系統(tǒng)建

2、成后應(yīng)便于測量和檢漏。生產(chǎn)實際告訴我們真空系統(tǒng)在工作過程中經(jīng)常容易出現(xiàn)漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔要進(jìn)行分段檢漏因此每一個用閥門封閉的區(qū)間至少要有一個測量點以便測量和檢漏。(4)真空系統(tǒng)中配置的閥門和管道應(yīng)使系統(tǒng)抽氣時間短使用方便安全可靠。一般在有一個蒸氣流泵作為主泵(擴(kuò)散泵或油增壓泵)和一個機(jī)械泵作為前級泵的系統(tǒng)上除了有前級管道(蒸氣流泵串聯(lián)機(jī)械泵的管道)外還應(yīng)有一個預(yù)真空管道(真空室直通機(jī)械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設(shè)

3、有高真空閥門(也稱主閥)在前級管道上設(shè)有前級管道閥(也叫低真空閥)在預(yù)真空管道上設(shè)置預(yù)真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門通常不能在閥蓋下為真空狀態(tài)而閥蓋上為大氣壓狀態(tài)下開閥這要通過電氣聯(lián)鎖保證安全。前級管道閥和預(yù)真空管道閥要考慮到閥本身能在大氣壓下開閥。以蒸氣流泵為主泵的真空系統(tǒng)主閥要蓋向主泵前級管道閥也要蓋向主泵預(yù)真空管道閥蓋向真空室。在機(jī)械泵入口管道上應(yīng)設(shè)一個放氣閥門當(dāng)機(jī)械泵停止工作時能立即打開此閥使機(jī)械泵入口通入大氣防止

4、機(jī)械泵油返流到管路中因此該閥要和機(jī)械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設(shè)置放氣閥門給裝料和取料時用。該閥設(shè)置的位置要考慮到放氣時氣體沖力較大防止因沖力過大而破壞真空室內(nèi)的薄弱構(gòu)件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān)要考慮放氣時間不能太長影響工作。(5)真空系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)保證排氣穩(wěn)定可靠安裝拆卸維修容易操作方便各元件間的連接有互換性。為了達(dá)到工作中排氣穩(wěn)定要求主泵性能穩(wěn)定各閥門運(yùn)轉(zhuǎn)靈活密封可靠系統(tǒng)中各元件的接頭不漏氣真空室密封性能好各真空元件連接采用標(biāo)準(zhǔn)

5、尺寸保證有互換性。在統(tǒng)設(shè)計中原則上講每一個封閉管路尺寸應(yīng)有一個可調(diào)尺寸。這個可調(diào)尺寸在過去設(shè)計中都采用軟管來解決現(xiàn)在設(shè)計系統(tǒng)時多數(shù)不采用軟管。而采用提高真空元件加工尺寸精度和利用連接法蘭上的密封橡膠圈來解決安裝誤差這樣可以提高系統(tǒng)強(qiáng)度和剛度減少用于系統(tǒng)上的支架更加美觀。(6)真空系統(tǒng)設(shè)計中要采用新技術(shù)做到自動控制和聯(lián)鎖保護(hù)。隨著真空技術(shù)的發(fā)展要求在整個抽氣過程中能夠進(jìn)行自動操作如采用真空繼電器控制羅茨泵在1333Pa壓強(qiáng)下啟動工作。采用