內(nèi)層開短路改進(jìn)工作總結(jié)

1、降低內(nèi)層開短路缺陷工作總結(jié)降低內(nèi)層開短路缺陷工作總結(jié)降低內(nèi)層開短路改進(jìn)小組一、概述4月中旬內(nèi)層AOI一次送檢不合格率持續(xù)偏高，最高達(dá)到9.86%，影響了生產(chǎn)進(jìn)度及成品率。因此工程部將“內(nèi)層AOI一次送檢不格率降至5%”列入工藝組改進(jìn)項(xiàng)目之一，由林綿鋒先生、張鎮(zhèn)祥先生、周曉煌先生、蔡錦雄先生和林挺先生組成降低內(nèi)層開短路改進(jìn)小組，目的是尋找缺陷產(chǎn)生的原因，以便提出針對(duì)性改進(jìn)措施，提高成品率。二、改進(jìn)方法?檢查貼膜后板面質(zhì)量情況，在缺陷點(diǎn)板邊

2、作標(biāo)記。?檢查曝光后板面質(zhì)量情況，在缺陷點(diǎn)MALAR膜上作標(biāo)記。?蝕刻、AOI檢查后，將板面缺陷對(duì)照MALAR膜上所作的標(biāo)記進(jìn)行分析缺陷產(chǎn)生的原因。?采取針對(duì)性改進(jìn)措施。三、內(nèi)層開短路原因內(nèi)層開內(nèi)層開短路短路材料材料環(huán)境環(huán)境1板面樹脂點(diǎn)2板面凹陷、劃傷3板面銅瘤4CCL磨板板面擦傷干膜房潔凈度度法設(shè)備設(shè)備操作操作1前處理效果差2貼膜溫度低3干膜被壓傷4曝光雜物多5顯影液濃度高6顯影液添加量不足7點(diǎn)檢不完善1除塵效果差3壓輥擦傷4傳送輥老

3、化5曝光能量不均勻6曝光機(jī)真空度不足7顯影段入口視線差2貼膜溫度變化大8蝕刻循環(huán)量小9ACS搖擺效果差差1磨板貼膜速度快2壓輥清潔不凈3菲林曝光框清潔不凈4放板超出范圍5參數(shù)超出范圍6沖板不規(guī)范?降低碳酸鈉開缸量：原有顯影液開缸量偏高，顯影液濃度較高，容易導(dǎo)致顯影過度。經(jīng)過驗(yàn)證，將碳酸鈉開缸量從原來的9公斤降低為6公斤。?增加碳酸鈉補(bǔ)充添加量：原碳酸鈉補(bǔ)充添加量為每生產(chǎn)40塊板件添加20秒，經(jīng)計(jì)算，該添加量下顯影液能力接近滿負(fù)荷，因此將

4、添加量修改為每生產(chǎn)20塊板件添加20秒，提高顯影能力。?采取顯影槽保養(yǎng)時(shí)關(guān)掉溢流裝置，顯影槽、蝕刻槽保養(yǎng)后必須用高壓水沖洗槽壁等措施，完善保養(yǎng)規(guī)程，提高保養(yǎng)質(zhì)量。?蝕刻過濾芯更改為碳芯，有效吸咐蝕刻液中的有機(jī)雜物，減少銅點(diǎn)。?繼續(xù)完善現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢記錄，提高了點(diǎn)檢的針對(duì)性、有效性，效果顯著。4設(shè)備?保養(yǎng)時(shí)將除塵膠棍送返磨，提高除塵效果；更換HAKUTA貼膜前已老化的傳送膠輪；更換HAKUTA高效過濾箱的磨刷。?HAKUTA貼膜機(jī)加熱棒涂導(dǎo)熱膠

5、，提高加熱均勻性。?修補(bǔ)HAKUTA熱壓輥表面凹陷后貼膜仍有小氣泡，已更換熱壓輥。?每周兩次用能量計(jì)校正曝光機(jī)能量，保證曝光能量穩(wěn)定，減少曝光不良。?更換真空接口，提高AX28自動(dòng)曝光機(jī)的真空度（小于10inHg），減少曝光不良。?改進(jìn)顯影段入口的蓋板裝置，減少疊板。?更換ACS線蝕刻機(jī)過濾系統(tǒng)，加大蝕刻液的循環(huán)量，提高蝕刻質(zhì)量。?更換ACS酸蝕線傳送桿鎖緊螺絲，減少傳送故障。5操作?增加崗位操作可視化，規(guī)范各崗位操作。?搜集相關(guān)缺陷圖