kdy-1說明書11.01.10

1、廣州市昆德科技有限公司KDY1KDY1型四探針電阻率型四探針電阻率方阻測試儀方阻測試儀使用說明書使用說明書Emal:gzkunde@網址:KDY1KDY1型四探針電阻率型四探針電阻率方阻測試儀方阻測試儀使用說明書使用說明書1、概述、概述KDY1型四探針電阻率方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱

2、：主機）、測試架及四探針頭組成。本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的專利產品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量

3、電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ710E數(shù)據(jù)處理器或KDY測量系統(tǒng)，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。2、測試儀結構及工作原理、測試儀結構及工作原理測試儀主機由主機板、電源板、前面板、后背板、機箱組成。電壓表、電流表、電流調節(jié)電位器、恒流源開關及各種選擇開關均裝在前面板上（見圖2）。后背板上只裝有電源插座、電源開

4、關、四探針頭連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險管（見圖3）。機箱底座上安裝了主機板及電源板，相互間均通過接插件聯(lián)接。儀器的工作原理如圖1所示：廣州市昆德科技有限公司KDY1KDY1型四探針電阻率型四探針電阻率方阻測試儀方阻測試儀使用說明書使用說明書Emal:gzkunde@網址:所以取I=4.532時從KDY1右邊的電壓表(DVM2)上即可直接讀出擴散薄層的方塊電阻R□。備注：在測量方塊電阻時ρR鍵要選擇在R檔，僅在電流0.01mAmA

5、檔時電壓表最后一位數(shù)檔時電壓表最后一位數(shù)溢出（其他檔位可以正常讀數(shù)）溢出（其他檔位可以正常讀數(shù)），故讀數(shù)時需要注意，如電流在，故讀數(shù)時需要注意，如電流在0.01mAmA檔時電壓表讀檔時電壓表讀數(shù)為數(shù)為1234512345，則實際方塊電阻的讀數(shù)應該是，則實際方塊電阻的讀數(shù)應該是123450123450R□。3、使用方法、使用方法（1）主機面板、背板介紹儀器除電源開關在背板外其它控制部分均安裝在面板上，面板的左邊集中了所有與測量電流有關的顯

6、示和控制部份，電流表（DMV1）顯示各檔電流值，電流選擇按鈕供電流選檔用，～220V電源接通后儀器自動選擇在常用的1.0mA檔，此時1.0上方的紅色指示燈亮，隨著選擇開關的按動，指示燈在不同的檔位亮起，直選到檔位合適為止。打開恒流源，上方指示燈亮，電流表顯示電流值，調節(jié)粗調旋鈕使前三位數(shù)達到目標值，再調細調旋鈕使后兩位數(shù)達到目標值。這樣就完成了電流調節(jié)工作，此時我們可以把注意力集中到右邊，面板的右邊集中了所有電壓測量有關的控制部件，電壓