pecvd保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書

1、金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYGOLDPOLYINTERNATIONALGROUPINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYSCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYINDUSTRYCOLTDCOLTDPEDCVPEDCV保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書——翁自力一、簡介一、簡介PECVD（PiasmaEnhancedChemicalVapDespo

2、sition）即“等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積”。PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。整個(gè)系統(tǒng)主要包括以下主要部件：帶有閥門和真空泵的真空腔室（裝載腔、反應(yīng)腔、冷卻腔、卸載腔）、等離子源、傳送系統(tǒng)、工藝氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、冷卻和動(dòng)力系統(tǒng)，整個(gè)系統(tǒng)由計(jì)算機(jī)集中控制。如下圖所示：1裝載腔裝載腔2反應(yīng)腔反應(yīng)腔3冷卻腔冷卻腔4裝載腔裝載腔AVi

3、ton真空密封裝置真空密封裝置B微波密封圈微波密封圈上蓋密封墊的位置上蓋密封墊的位置金保利(泉州)科技有限公司GOLDPOLYGOLDPOLYINTERNATIONALGROUPINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)(QUANZHOU)SCIENCE&TECHNOLOGYSCIENCE&TECHNOLOGYINDUSTRYINDUSTRYCOLTDCOLTD2、清理裝載腔、冷卻腔、卸載腔。、清理裝載腔、冷卻腔、卸載腔。