防靜電檢測(cè)方法

1、防靜電檢測(cè)方法第1頁共14頁1防靜電檢測(cè)方法防靜電檢測(cè)方法防靜電檢測(cè)方法防靜電檢測(cè)方法1術(shù)語和定義術(shù)語和定義表面電阻（表面電阻（surfacesurfaceresistanceresistance）：）：兩個(gè)特定的放置于材料同一面的電極之間的電壓與它們通過電流的比值。體電阻（體電阻（volumevolumeresistanceresistance）：）：單位厚度上的直流電壓，與通過材料的單位面積電流的比值，測(cè)試電極放置于材料相對(duì)面的對(duì)應(yīng)

2、位置。接地電阻（接地電阻（EarthEarthResistanceResistance）：）：被接地體與地下零電位面之間的接地引線電阻、接地器電阻、接地器與土壤之間的過渡電阻和土壤的溢流電阻之和。摩擦起電（摩擦起電（Triboelectrification）：）：用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號(hào)電荷的過程。衰減時(shí)間（衰減時(shí)間（decaydecaytimetime）：）：靜電電壓從峰值電壓降低到給定比例的時(shí)間。例如：在15%相對(duì)濕度的

3、情況下，靜電電壓從2000V降低到100V的衰減時(shí)間小于等于1秒。屏蔽泄漏電壓：屏蔽泄漏電壓：因屏蔽體外部的高電場(chǎng)而使屏蔽體內(nèi)部獲得的感應(yīng)電場(chǎng)電壓或外部高電場(chǎng)穿透屏蔽體衰減的殘留電場(chǎng)電壓，又稱屏蔽殘余電壓。靜電中和（靜電中和（ElectrostaticNeutralization）：）：帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號(hào)的電荷（電子或離子）的復(fù)合而使所帶靜電部分或全部消失的現(xiàn)象。2防靜電參數(shù)測(cè)試方法防靜電參數(shù)測(cè)試方法防靜電主要參數(shù)及測(cè)

4、試儀器防靜電主要參數(shù)及測(cè)試儀器測(cè)試項(xiàng)目測(cè)試項(xiàng)目測(cè)試儀器測(cè)試儀器表面電阻表面電阻測(cè)試儀兆歐表體電阻、系統(tǒng)電阻兆歐表萬用表接地電阻接地電阻測(cè)試儀萬用表兆歐表靜電電壓、摩擦電壓、衰減時(shí)間靜電場(chǎng)測(cè)試儀靜電電壓測(cè)試儀防靜電檢測(cè)方法第3頁共14頁3電阻，兩個(gè)電極放置在材料的兩個(gè)表面的相對(duì)位置可以測(cè)試體積電阻。型號(hào)為BM802的測(cè)試儀可直接使用兆歐表和兩根連線來測(cè)試接地電阻和低阻。圖2表面電阻測(cè)試儀2.1.2靜電場(chǎng)測(cè)試儀靜電場(chǎng)測(cè)試儀有兩種型號(hào)，普通型

5、ESD42721，高精度型MODEL520，都采用非接觸型的電場(chǎng)感應(yīng)測(cè)試方式。兩個(gè)儀器都配有一根接地線，靜電電壓測(cè)試時(shí)接地線接地可以提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。ESD42721的測(cè)試量程＜20KV，精確度為10V，適于測(cè)試較大的平面分布電場(chǎng)。MODEL520的的測(cè)試量程＜2KV，精確度為1V，適于平面和某點(diǎn)電場(chǎng)精確測(cè)試。圖3靜電場(chǎng)測(cè)試儀MODEL520圖4靜電場(chǎng)測(cè)試儀ESD427212.1.3離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀由靜電