操作規(guī)范-交通大學(xué)奈米中心-國(guó)立交通大學(xué)

1、國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心實(shí)驗(yàn)室,儀器專(zhuān)家︰顏?lái)樛ɡ蠋?技術(shù)員：王圣瑩小姐,高解析度場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀 Scanning Electron Microscope (S-4700I),國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,儀器名稱(chēng),中文名稱(chēng)： 高解析度場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡 暨 能量散佈分析儀 英文名稱(chēng)： High-Resolution Scanning Electron Microscope &

2、amp; Energy Dispersive Spectrometer 英文簡(jiǎn)稱(chēng)： SEM & EDS,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,儀器廠牌、型號(hào)及儀器購(gòu)置年限,廠牌：Hitachi 型號(hào)：S-4700I儀器購(gòu)置年限：民國(guó)88年5月1日,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,服務(wù)項(xiàng)目,電子顯微鏡觀察（SEM）： 高倍率放大觀察元件、薄膜等微細(xì)結(jié)構(gòu)或剖面結(jié)構(gòu)。 表面能階分析（EDS）： 特定位置表面材

3、料成分電子能階 光譜分析，用以判斷表面材料或 污染的組成。,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,重要規(guī)格,電子源：冷陰極電子槍 操作電壓：0.5kV~30kV 試片尺寸：25mm diameter x 25mm(t)工作距離：目前設(shè)定在12mm 解析度：1.5nm (at 15kV) or 2.5nm (at 1kV) 放大倍率50萬(wàn)倍（依試片本身而定） 二次電子解析度1.5nm(15kV下) EDS可提供全能譜定

4、性分析（B5~U92）、 定量分析及元素分佈圖,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,掃瞄式電子顯微鏡原理 (SEM Scanning Electron Microscope),儀器設(shè)備部分介紹以產(chǎn)生電子來(lái)源的電子槍?zhuān)淖冸娮有羞M(jìn)方向的電磁透鏡 ，與光學(xué)聚焦系統(tǒng)為主。原理部分將只簡(jiǎn)單的描述電子束行進(jìn)的電子路徑，和電子與物質(zhì)之交互作用。 此外，我們也簡(jiǎn)易的探討 為何需要以真空為操作環(huán)境， 及顯示部分樣品室內(nèi)部的構(gòu)

5、造。 PS.請(qǐng)點(diǎn)選有底線(xiàn)部份，可連結(jié)至相關(guān)網(wǎng)頁(yè)。,,,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,真空系統(tǒng),SEM的真空非常重要，好的真空條件才能有清楚的影像。本機(jī)臺(tái)由以下Pump維持真空：電子腔及磁透鏡部份:配置3組Ion Pump；試片腔體室(S.C.-Specimen Chamber): 配置Diffusion pump，並由一組Rotary Pump粗抽；Diffusion pump 由泠

6、卻循環(huán)水冷卻。小腔體(S.E.C.- Specimen Exchange Chamber): 配置一組Rotary Pump。,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,操作方式,操作方式：SEM簡(jiǎn)易操作步驟 ( 請(qǐng)點(diǎn)選),國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,操作要訣,試片導(dǎo)電性要佳： 試片導(dǎo)電性一定要好，secondary detector才detect 的到。很多試片導(dǎo)電性不好，它是可以鍍Pt或Au的。 但往往Pt鍍的太薄，影

7、像不清楚(因?qū)щ娦圆患?;鍍太厚，會(huì)蓋住原想看的pattern。導(dǎo)電較差的材質(zhì)，如矽或二氧化矽等等材料會(huì)charge up的話(huà)，可在sample鍍金之後，把導(dǎo)電碳膠帶直接貼在正面， 把電子引到基座去，只留一個(gè)小slit來(lái)照SEM。,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,操作要訣,避免振動(dòng) ： 若要看高倍，試片一定要貼牢、stage要鎖緊，試情況決定是否按下 stage lock按鈕，可減低外在環(huán)境因素造成的晃動(dòng)。 (但按下

8、Stage lock鈕後， 就不可以調(diào)整Tilt鈕了。),國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,操作要訣,真 空：真空一定要好。,加速電壓 : 耐打的sample可用高電壓打，可以看的更清楚；不耐打的sample只能用低電壓，不然會(huì)charge；甚至傷了試片也可能打出髒東西影響真空(視試片材質(zhì)而定)。,小心、細(xì)心、耐心,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由技術(shù)員陳悅婷拍攝,放大1萬(wàn)倍的金粒子,每1小格=500奈米,,,,,放

9、大倍率,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由技術(shù)員陳悅婷拍攝,放大15萬(wàn)倍的金粒子已可見(jiàn)其表面,每1小格=30奈米,,,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由技術(shù)員陳悅婷拍攝,放大25萬(wàn)倍的金粒子立體感,每1小格=20奈米,,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由技術(shù)員陳悅婷拍攝,放大30萬(wàn)倍的金粒子表面及立體感,每1小格=10奈米,,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由技術(shù)員

10、陳悅婷拍攝,放大40萬(wàn)倍的金粒子彼此間相連的立體感,每1小格=10奈米,,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由技術(shù)員陳悅婷拍攝,放大45萬(wàn)倍金粒子表面及藕斷絲連感,每1小格=10奈米,,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由技術(shù)員陳悅婷拍攝,放大50萬(wàn)倍的金粒子表面及立體感,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,以下是由技術(shù)員協(xié)助各個(gè)不同研究領(lǐng)域的學(xué)生們所拍攝的部份照片。 藉由S

11、EM設(shè)備，我們可以看到 這麼“細(xì)微” 且 “精彩” 的照片， 也可以借此彼此交流一下!,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 鄭晃忠實(shí)驗(yàn)室_奈米碳管,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 曾俊元實(shí)驗(yàn)室_ZnO奈米線(xiàn),國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 崔秉鉞實(shí)驗(yàn)室_MOSFET元件圖,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍

12、攝,交大 邱碧秀實(shí)驗(yàn)室_超高介電常數(shù)材料,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 鄭裕庭實(shí)驗(yàn)室_高頻元件_奈米材料,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 張翼實(shí)驗(yàn)室_高速 Device Fabrication,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 生科_SiO2奈米粒子固定基材,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 張豐

13、志實(shí)驗(yàn)室_polymer micelles,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 裘性天實(shí)驗(yàn)室_奈米碳管,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,交大 李積琛實(shí)驗(yàn)室_氧化鈰奈米方塊,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,清大_銅材料,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,清大_INVERSE OPAL_應(yīng)用於光子晶體,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中

14、心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,清大_動(dòng)機(jī)奈米線(xiàn)寬,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,清大_AAO表面分析,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,清大_鍍鈦表面分析,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,成大_氮化鎵表面粗化處理_於藍(lán)光LED上使用,國(guó)立交通大學(xué) 奈米中心 陳悅婷,SEM拍攝照片--由學(xué)生拍攝,成大_低溫成長(zhǎng)氧化物奈米線(xiàn),國(guó)立交通大學(xué)