13.9nm光柵分束器及相關問題研究

1、中國科學技術大學博士學位論文13.9nm光柵分束器及相關問題研究姓名：譚鑫申請學位級別：博士專業(yè)：同步輻射及應用指導教師：付紹軍20080501中國科學技術大學博上學位論文 摘要制作在同一基底上的，其從根本上解決了光柵拼接過程中的問題。作者結合該干涉系統(tǒng)對工作光柵與調整光柵的要求，對雙頻調整光柵的線密度進行了設計，并且在理論上推導了雙頻光柵在制作過程中的誤差：對雙頻調整光柵用于該干涉系統(tǒng)預調整可能產生的誤差進行了定量的分析，確定了雙頻調

2、整光柵的可行性。作者結合雙頻調整光柵制作過程的誤差分析在制作過程中對其進行有效的控制，實現了在同一基底上同時制作雙頻調整光柵與工作光柵光刻膠掩模。最后，對其線密度，線密度關系，雙頻光柵線條平行度這三個對干涉系統(tǒng)調整精度有顯著影響的參數進行了實際測量。其中，雙頻光柵線條平行度測量系統(tǒng)是作者自行搭建的一套高精度平行度測量系統(tǒng)，具有很高的擴展性。測量結果表明所制作的雙頻調整光柵的各項參數與設計相吻合，用于該干涉系統(tǒng)預調整將獲得較高的預調整精度

3、。二． X 射線激光L 鋤i n a r 分合束光柵的研制基于衍射光柵的X 射線干涉系統(tǒng)的核心部件就是分合束光柵，他是最近興起的等離子體診斷技術的核心部件。鑒于干涉系統(tǒng)的特殊要求，其O 級與1 級衍射光構成了干涉系統(tǒng)的兩臂，且0 級與l 級衍射效率也要盡量接近，故其0 級與l級的衍射效率是分合束光柵的重要參數。由于其特殊要求，必須先對其進行槽型的選擇和設計而后進行制作研究工作。作者通過計算對比了在波長l 3 ．9 m 的X 射線激光入射

4、情況下的閃耀槽型光柵、正弦槽型光柵和L a m i n a r 槽型光柵的0 級與l 級衍射效率，且結合制作工藝確定了制作L a m i n a u r 槽型光柵作為X 射線分合束光柵。L a m i n a r 光柵不但能夠獲得較高的O 級與1 級衍射效率且制作過程相對簡單，參數控制相對容易。而后，對L a m i n a r 工作光柵的線密度等槽型參數進行了理論設計得到了最優(yōu)化的槽型參數。作者在獲得最優(yōu)槽型參數后，使用全息曝光一離子