過渡金屬摻雜aln薄膜的制備及其特性研究_第1頁
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文檔簡介

1、理學(xué) 碩士學(xué)位 論文過渡金屬摻雜 AlN 薄膜的制備及其特性研究STUDY ON PREPARATION AND CHARACTERIZATIONS OFTRANSITION METAL-DOPED AlN THIN FILMS胡 新 宇物 理 學(xué)延 邊 大 學(xué)學(xué)校代碼：10184分 類 號：O4分類號 O4 密級U D C 530 學(xué)號 2009010581延邊大學(xué)碩士學(xué)位論文過渡金屬摻雜 AlN 薄膜的制備及其特性研究研 究 生 姓

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