過渡金屬摻雜aln薄膜的制備及其特性研究_第1頁
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1、理學 碩士學位 論文過渡金屬摻雜 AlN 薄膜的制備及其特性研究STUDY ON PREPARATION AND CHARACTERIZATIONS OFTRANSITION METAL-DOPED AlN THIN FILMS胡 新 宇物 理 學延 邊 大 學學校代碼：10184分 類 號：O4分類號 O4 密級U D C 530 學號 2009010581延邊大學碩士學位論文過渡金屬摻雜 AlN 薄膜的制備及其特性研究研 究 生 姓

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