版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、隨著以波導(dǎo)光柵為代表的集成光器件的應(yīng)用,人們對于波導(dǎo)光柵的研究愈發(fā)廣泛。波導(dǎo)光柵可以在LiNbO3晶體,聚合物,玻璃等多種材料上制備出來,其結(jié)構(gòu)設(shè)計多樣。目前常見的制作工藝包括:紫外光刻(UV),電子束刻蝕(EBL),聚焦離子束刻蝕(FIB),雙光束干涉等。LiNbO3晶體自身具有電光效應(yīng),因而選用LiNbO3晶體作為襯底制備而成的波導(dǎo)光柵可實現(xiàn)電控調(diào)諧。
本文以x切LiNbO3晶體作為襯底,通過光刻及鈦擴散工藝制作出二次鈦擴
2、散長周期波導(dǎo)光柵。提出利用LiNbO3波導(dǎo)制備工藝一次性制備的長周期波導(dǎo)光柵及高階Bragg波導(dǎo)光柵結(jié)構(gòu),并運用光刻及退火質(zhì)子交換工藝一次性制作出長周期及高階Bragg波導(dǎo)光柵。具體工作內(nèi)容如下:
第一,對二次鈦擴散長周期波導(dǎo)光柵的結(jié)構(gòu)及特性進行研究。理論上分析了光柵柵長及光柵周期的變化對透射譜特性的影響。耦合系數(shù)一定時,柵長增加,零值帶寬減小,光柵透射率先減小后增大。完全耦合時,透射率最小,且周期越大,中心波長越大。實驗上利
3、用光刻及鈦擴散工藝在LiNbO3單模波導(dǎo)上制作了周期為420微米的二次鈦擴散長周期波導(dǎo)光柵,并對光柵透射譜的測量進行了探究。
第二,提出利用LiNbO3波導(dǎo)制備工藝一次性制備的長周期波導(dǎo)光柵結(jié)構(gòu)。理論上分析了波導(dǎo)寬度差、光柵柵區(qū)傾角的變化對透射譜特性的影響。隨著波導(dǎo)寬度差增大,零值帶寬減小,透射率呈現(xiàn)周期性變化。隨著柵區(qū)傾角減小,零值帶寬減小幅度變緩,透射率變化的周期變大。實驗上利用光刻及退火質(zhì)子交換工藝在LiNbO3晶片上一
4、次性制作出周期為百微米量級的長周期波導(dǎo)光柵,并對光柵透射譜的測量進行了探究。
第三,提出利用LiNbO3波導(dǎo)制備工藝一次性制備的高階可調(diào)諧Bragg波導(dǎo)光柵結(jié)構(gòu)。理論上分析了占空比,波導(dǎo)寬度差,柵區(qū)傾角,外加電壓等參數(shù)的變化對光柵反射譜的影響。隨著占空比增大,折射率調(diào)制度呈現(xiàn)周期性變化。在最佳占空比下,波導(dǎo)寬度差增大,最大反射率及零值帶寬均增大,中心波長向長波方向偏移。隨著柵區(qū)傾角的減小,最大反射率及零值帶寬增量幅度減小,中心
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 長周期光纖光柵的研究與波導(dǎo)Bragg光柵初探.pdf
- 基于相位掩模法的高階鈮酸鋰Bragg波導(dǎo)光柵的研究.pdf
- 長周期平板波導(dǎo)光柵的理論研究.pdf
- 長周期條形波導(dǎo)光柵的理論研究.pdf
- 長周期波導(dǎo)光柵折射率傳感特性的研究.pdf
- 基于Ti擴散LiNbO-,3-晶體光波導(dǎo)的長周期光柵.pdf
- 聚合物長周期波導(dǎo)光柵的模式轉(zhuǎn)換器研究.pdf
- 溫度調(diào)諧聚合物波導(dǎo)Bragg光柵.pdf
- 基于LiNbO3的快速可調(diào)諧Bragg波導(dǎo)光柵的設(shè)計.pdf
- 基于周期壓力相移長周期光纖光柵研究.pdf
- 熱光長周期波導(dǎo)光柵輔助的非對稱Y分支模式開關(guān)研究.pdf
- 聚合物長周期波導(dǎo)光柵折射率傳感器的研究.pdf
- 基于Ti-LiNbO3長周期波導(dǎo)光柵的電光調(diào)諧超寬帶濾波器的研究.pdf
- 基于鈦擴散鈮酸鋰(Ti-LiNbO3)光波導(dǎo)的電光長周期光柵的實驗研究.pdf
- 可調(diào)諧長周期光纖光柵的研究.pdf
- 基于光纖Bragg光柵的濕度及主動監(jiān)測系統(tǒng)的研究.pdf
- 基于抗彎光纖的長周期光纖光柵特性研究.pdf
- 長周期光纖光柵及光纖傳感技術(shù)的研究.pdf
- 長周期光纖光柵模場及耦合的研究.pdf
- 基于拉錐方法的長周期光纖光柵制備及應(yīng)用研究.pdf
評論
0/150
提交評論