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1、隨著制造業(yè)的快速發(fā)展,我國(guó)對(duì)測(cè)試技術(shù)的要求越來越高,目前市場(chǎng)存在的主要測(cè)量?jī)x器有光柵、感應(yīng)同步器、激光干涉儀、磁柵等。這些測(cè)量?jī)x器中以光柵的應(yīng)用最為廣泛,光柵利用精密刻線對(duì)空間位移進(jìn)行測(cè)量,該課題小組所在實(shí)驗(yàn)室提出了時(shí)柵位移傳感器的概念,利用時(shí)鐘脈沖對(duì)空間位移進(jìn)行刻劃和測(cè)量,該位移傳感器目前已逐步在工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)被應(yīng)用。
光場(chǎng)式時(shí)柵是時(shí)柵的一個(gè)新的研究方向,前期已經(jīng)完成了透射式的光場(chǎng)式時(shí)柵的研究,證明了光場(chǎng)式時(shí)柵的可行性,現(xiàn)為了擴(kuò)
2、大工程上的應(yīng)用,開展反射式的光場(chǎng)式時(shí)柵的研究。
光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和光場(chǎng)分布仿真是光場(chǎng)反射式時(shí)柵研究的一個(gè)重要組成部分,光場(chǎng)式時(shí)柵的光學(xué)系統(tǒng)影響著傳播光線的照度均勻性和平行性,而照度均勻性和平行性是光場(chǎng)式時(shí)柵的空間調(diào)制的重要保證.本文從這方面出發(fā),提高光場(chǎng)式時(shí)柵的測(cè)量精度,其主要的研究?jī)?nèi)容如下。
(1)深入研究時(shí)柵和光場(chǎng)式時(shí)柵的測(cè)量原理,從數(shù)學(xué)模型上分析了光線傳播過程中的各個(gè)因素對(duì)測(cè)量的影響。
(2)從光源的選擇
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