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文檔簡(jiǎn)介
1、非本征型法布里-珀羅干涉(EFPI)光纖傳感器由于其抗電磁干擾、精度高、絕緣性能高、重量輕、體積小、遠(yuǎn)距離傳輸?shù)韧怀鰞?yōu)點(diǎn),得到了國(guó)內(nèi)外各項(xiàng)工程的廣泛應(yīng)用,涉及了航天航空、醫(yī)療、礦井、高壓供電等各個(gè)領(lǐng)域;對(duì)于EFPI光纖傳感器,要實(shí)現(xiàn)傳感信號(hào)的解調(diào),解調(diào)技術(shù)是影響測(cè)量精度和測(cè)量速度的關(guān)鍵點(diǎn),因此對(duì)基于EFPI傳感器解調(diào)系統(tǒng)的研究和推進(jìn)各個(gè)領(lǐng)域的發(fā)展具有重要意義。
本文研究的對(duì)象為基于MEMS工藝的光纖法珀高溫壓力傳感器,主要用于
2、測(cè)量高溫下壓力的變化,針對(duì)此結(jié)構(gòu)的EFPI傳感器信號(hào),利用高速可編程邏輯器件(FPGA)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)解調(diào)技術(shù)。設(shè)計(jì)了一套完整的光纖信號(hào)解調(diào)系統(tǒng),包括傳感模塊、實(shí)時(shí)解調(diào)硬件模塊、FPGA邏輯模塊等。傳感模塊主要搭建了一個(gè)光路系統(tǒng),通過(guò)光源、可調(diào)諧濾波器、標(biāo)準(zhǔn)具等光學(xué)器件,將傳感信號(hào)傳輸?shù)紽PGA中進(jìn)行處理;實(shí)時(shí)解調(diào)硬件模塊主要設(shè)計(jì)了硬件系統(tǒng),通過(guò)高速ADC、DAC、可編程運(yùn)放,實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換和傳感模塊的控制;FPGA邏輯模塊,編寫(xiě)解調(diào)邏輯代碼,
3、實(shí)現(xiàn)了邏輯算法和數(shù)據(jù)采集;同時(shí),本文針對(duì)光源光功率不穩(wěn)定的現(xiàn)象,提出了一種基于硬件的光功率補(bǔ)償法,并對(duì)補(bǔ)償法進(jìn)行了Matlab仿真和邏輯編程實(shí)現(xiàn),最后將算法邏輯封裝成IP核,完成了光功率的補(bǔ)償。峰值解算上,引用了固定閾值的質(zhì)心法尋峰和插值法實(shí)時(shí)標(biāo)定,通過(guò)FPGA邏輯編程仿真,封裝成IP核。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,光功率補(bǔ)償和尋峰方法可行,結(jié)果可靠精度高。
最后,本文對(duì)MEMS EFPI傳感器解調(diào)系統(tǒng)的應(yīng)用方面進(jìn)行了介紹,總結(jié)了論文成果并
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