已閱讀1頁(yè)，還剩74頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、 本文采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPECVD)方法，制備出高密度(108個(gè)/cm2)的尖錐頂端覆蓋有碳化硅(SiC)顆粒的硅納米尖錐陣列，納米尖錐高徑比為40，結(jié)構(gòu)有利于場(chǎng)致電子發(fā)射。同時(shí)，提出“納米顆粒自組裝沉積輔以氫氣等離子體刻蝕的機(jī)制”對(duì)硅納米尖錐形成的機(jī)理進(jìn)行了解釋。 通過(guò)氫氣等離子體處理的方法將上述尖錐頂端的SiC顆粒轉(zhuǎn)化為非晶硅(a-Si)顆粒，同時(shí)銳化了尖錐。在此基礎(chǔ)上，采用化學(xué)腐蝕法獲得了尖錐頂端沒有覆蓋顆粒的
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 若干新型納米材料的物理特性及局域場(chǎng)致電子發(fā)射特性的研究.pdf
- 碳氮納米管的制備、表征及場(chǎng)致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 復(fù)合型尖錐場(chǎng)發(fā)射陣列制備工藝研究.pdf
- 硅納米線的制備及場(chǎng)發(fā)射特性研究.pdf
- 18556.復(fù)合尖錐場(chǎng)發(fā)射陣列研究
- 單根氧化鎢納米尖的激光點(diǎn)焊組裝及其場(chǎng)致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 基于納米結(jié)構(gòu)的場(chǎng)致電子發(fā)射研究.pdf
- 柔性襯底上納米氧化鋅的制備、表征和場(chǎng)致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 熱絲法制備氧化鎢納米結(jié)構(gòu)及其場(chǎng)致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 氮化碳薄膜場(chǎng)致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 碳納米管陣列制備及場(chǎng)致發(fā)射特性研究.pdf
- TiO2納米管有序陣列膜的可控碳摻雜及其場(chǎng)致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 場(chǎng)發(fā)射冷陰極錐尖制備及其性能研究.pdf
- CNTs-TiO2-Ti納米復(fù)合結(jié)構(gòu)及其場(chǎng)致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 場(chǎng)致電子發(fā)射硅一維納米材料的研制及其器件應(yīng)用探索.pdf
- 硅微尖的場(chǎng)發(fā)射電子能譜.pdf
- 準(zhǔn)一維硅納米材料的制備及其場(chǎng)發(fā)射特性.pdf
- 硅納米孔柱陣列及其金-銅復(fù)合體系的制備、結(jié)構(gòu)與場(chǎng)發(fā)射特性.pdf
- 硅微尖錐陣列頂端微納材料的定位制備研究.pdf
- 若干新型場(chǎng)致電子發(fā)射材料的研制及其器件應(yīng)用基礎(chǔ)研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論