射頻等離子體中塵埃粒子和塵埃空洞的實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、帶電的塵埃粒子廣泛存在于宇宙空間、實(shí)驗(yàn)室等離子體裝置中和材料等離子體加工工藝中.近年來,特別是在人們認(rèn)識到塵埃粒子是影響半導(dǎo)體集成電路加工質(zhì)量的關(guān)鍵問題后,關(guān)于塵埃粒子在等離子體中的帶電量、塵埃粒子在鞘層中的生長及其運(yùn)動(dòng)模式等方面的研究備受關(guān)注.該文所研究的塵埃顆粒是利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)反應(yīng)法原位生成的.文中著重進(jìn)行了以下兩個(gè)方面的研究:一、等離子體中塵埃粒子平衡電荷量的測量.通過研究塵埃粒子在平衡位置處的受力情況確定塵埃顆粒所帶的電荷

2、量.主要考慮兩種力的作用即塵埃粒子所受的電場力和重力.根據(jù)這兩種力的平衡關(guān)系就可以粗略得出塵埃粒子在平衡位置處的電荷量.計(jì)算結(jié)果表明:實(shí)驗(yàn)中所研究的塵埃粒子在平衡位置處所帶的電荷為10<'2>-10<'5>個(gè)基本電荷,這和其他研究者的結(jié)果比較符合.二、等離子體中塵埃云和塵?？斩吹难芯?該文主要研究在射頻(13.56MHz)等離子體中,塵埃云在等離子體中的形成、生長過程,研究了塵埃顆粒在等離子體鞘層中的行為模式如懸浮位置、懸浮狀態(tài)、不穩(wěn)定