S波段窄帶帶通BAW濾波器設計.pdf

1、由FBAR組成的BAW濾波器能夠滿足目前高性能射頻前端濾波的要求，是一種全新的射頻濾波器解決方案?；赬X機構給出的技術指標，結合工藝約束條件，設計了一個滿足各項指標的，中心頻率為2.460GHz，帶寬為41MHz，帶內插損為-1.154dB，帶內紋波為0.9dB，帶外抑制為-42.5dB@2.390GHz;-45.5dB@2.500GHz的S波段窄帶帶通BAW濾波器。所設計的濾波器的各項指標值均優(yōu)于設計指標中的要求。設計的濾波器具有較

2、低的帶內插損、較高的帶外抑制，能夠滿足當前S波段無線通信的應用。具體工作包括：
　　在第三章中，通過調節(jié)電極/壓電層厚度設計了一個具有較高k2eff，同時可以獲得較小平面尺寸的FBAR各膜層厚度參數(shù)。通過電極變跡的方法設計了各FBAR形狀，該方法能夠抑制寄生模式，提高FBAR的Q值。
　　在第四章中，使用Mason模型設計并優(yōu)化得到了一個滿足各項指標(帶寬、中心頻率、帶外抑制和帶內插損以及紋波)的S波段BAW濾波器的結構參數(shù)

3、。并通過一個電感有效改善了BAW濾波器的帶外抑制。
　　在第五章中，設計并驗證了一個 BAW濾波器的布局結構。該布局結構能夠減少寄生電感、寄生電容、歐姆損耗對BAW濾波器性能的影響。為了評估使用Mason模型設計的S波段BAW濾波器的性能，建立了BAW濾波器的聲-電磁協(xié)同仿真模型。由于仿真得到的帶內紋波不滿足指標要求，因此重新設計了BAW濾波器的結構參數(shù)，直到成功通過聲-電磁協(xié)同仿真模型的性能驗證。根據(jù)該布局結構，設計了BAW濾波