YBCO薄膜的微觀結構與性能的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該論文的目的是研究基片對薄膜結構和性能的影響關系,采用倒筒靶直流濺射技術在在LaAlO<,3>(100)和R-平面的藍寶石(Al<,2>O<,3>(1102))兩種基片上制各出c軸取向的外延高溫超導YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜.該文結合AFM、SEM研究YBCO薄膜的表面形貌,XRD、FWHM分析薄膜的結晶情況,并結合成膜溫度和基片的質量進行一系列結構與性能的對比研究,發(fā)現(xiàn)LaAlO<,3>(LAO)基片的質量對YBCO

2、薄膜的結構完整性有很大影響,不僅影響了薄膜的c軸取向性,而且影響了YBCO的超導性能.在LaAlO<,3>(100)基片上制備出了c軸取向的YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜:Tc<,0>=90K,△Tc=0.3K,Rs(77K,10GHz)=1.7mΩ.通過在R-Al<,2>O<,3>基片上生長一層CeO<,2>緩沖層,改善了Al<,2>O<,3>與YBCO晶格的嚴重失配,制備出了Tc<,0>=90K,△Tc=0.5K,Rs

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