微機械彎曲加載機構設計.pdf

1、隨著微器械發(fā)展，設計時對相應機械微構件不但要實現(xiàn)功能性設計，還需要考慮材料特性參數(shù)對所設計部件的影響。而微構件機械的力學特性數(shù)據(jù)對MEMS結構設計具有重要的影響，因此需要一種可以獲取微構件力學特性的測試方法。本論文以微梁彎曲法為基礎，設計了一套包含具有微力和微位移測量的微驅動定位、加載以及夾持機構的力學測量系統(tǒng)，能夠測量微結構力學性能指標包括變形與應變、彈性模量、泊松比等參數(shù)。建立適用于微機構力學特性測量方法基本模型，為今后微納力學特性

2、的高準確度測量研究與開發(fā)提供研究基礎。
　　論文的主要研究內容包括:
　　1.利用Ansys仿真分析了二級與三級對稱式柔性鉸鏈放大機構，給出不同級放大比對總體放大參數(shù)的影響規(guī)律。
　　2.完成了適用于微構件彎曲測量的機械結構設計，包括加載機構和試件夾持機構，其中加載機構采用宏微結合二級加載方式，宏驅動實現(xiàn)快速逼近，微驅動實現(xiàn)彎曲測試所需的精密位移進給;夾持機構可以有效實現(xiàn)所設計的試件的準確定位和可靠夾持。
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