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文檔簡介
1、本論文利用磁控濺射、飛秒微加工和光刻工藝等實驗手段制備了兩類太赫茲波段的周期型金屬亞波長微結(jié)構(gòu)。并利用太赫茲時域光譜技術(shù)對兩類微結(jié)構(gòu)的太赫茲透射光譜進行了系統(tǒng)的研究。通過比較不同尺寸、不同占空比和不同周期結(jié)構(gòu)的實驗結(jié)果，分析了影響太赫茲波透射過程的物理機制。本文主要包含以下三方面的工作：
1、樣品的制備：這一個過程主要分為鍍膜和刻蝕兩個部分。簡要地說，利用磁控濺射方法在石英等襯底上制備金屬鋁膜；利用飛秒微加工的方法制備出了
2、太赫茲波的一維線柵結(jié)構(gòu)；利用光刻工藝制備出了太赫茲波段的金屬亞波長矩形孔陣列結(jié)構(gòu)。
2、分析了一維線柵結(jié)構(gòu)的透射特性。重點分析了線柵結(jié)構(gòu)的透射和太赫茲波的偏振方向關(guān)系，P偏振波的超強透射來源于金屬波導(dǎo)的橫向半波共振，其透射率頻譜分布受偽表面等離子體極化波(spoof SPP)調(diào)制；S偏振波的整體透射率較低，其原因是因為光柵結(jié)構(gòu)中金屬狹縫透射率光譜受到截止波長的調(diào)制作用，只支持S偏振電磁波的消逝波模式。
3、分
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