PT-PZT多層組合薄膜的制備及電學(xué)性能研究.pdf

1、PZT（鋯鈦酸鉛）鐵電薄膜由于具有熱釋電系數(shù)高，介電損耗低，居里溫度高等優(yōu)點被廣泛應(yīng)用。本文利用sol-gel（溶膠-凝膠）法在硅基底上制備了三種基于PT與PZT的多層組合薄膜，分別為純PZT結(jié)構(gòu)、PT/PZT-PZT/PT結(jié)構(gòu)與PT/PZT/-/PZT/PT結(jié)構(gòu)。從實驗方面對不同結(jié)構(gòu)的多層組合薄膜的微結(jié)構(gòu)與性能進(jìn)行了研究。
　　本文首先通過FESEM觀察了三種不同結(jié)構(gòu)薄膜的表面形貌；選用 XRD分析了三種不同結(jié)構(gòu)薄膜的結(jié)晶取向；

2、采用阻抗分析儀分析了三種不同結(jié)構(gòu)薄膜的介電性能；使用鐵電性能測試系統(tǒng)對三種不同結(jié)構(gòu)薄膜的 P-V曲線進(jìn)行測試。試驗分析結(jié)果表明，PT/PZT/-/PZT/PT結(jié)構(gòu)的多層組合薄膜相對于其他兩種結(jié)構(gòu)的多層薄膜具有顆粒大小均勻、較小的介電常數(shù)與介電損耗、較大的紅外探測率、較高的紅外吸收率等優(yōu)點；PT/PZT/-/PZT/PT結(jié)構(gòu)的多層組合薄膜相對于純PZT結(jié)構(gòu)的多層薄膜具有較低的剩余極化強度，但是PT/PZT/-/PZT/PT結(jié)構(gòu)的多層組合薄