太赫茲超導動態(tài)電感探測器的特性研究.pdf

1、超導動態(tài)電感探測器又稱微波動態(tài)電感探測器，是采用低能隙超導材料（如Al、TiNx等）而制成具有高Q值的共面波導諧振器，其通過入射光子拆散Cooper Pairs造成超導薄膜表面動態(tài)電感和Q值的變化進行探測。采用平面制備工藝和頻分復用讀出方式，在大型陣列集成中具有明顯優(yōu)勢，已經(jīng)成為太赫茲波段靈敏度最高的探測器之一。其在天體物理學領域尤其是在宇宙微波背景輻射探測方面價值巨大，已在一些相關探測任務中發(fā)揮重要作用。
　　首先，本文從太赫茲

2、天文學引入，介紹低溫超導太赫茲探測器的發(fā)展歷程，以及該類型探測器在當今天文探測任務中的應用。同時簡單分析了MKIDs探測器的工作機制和相對其他探測器的優(yōu)勢。
　　其次，介紹了超導薄膜的電動力學，結合共面波導（CPW）和四分之一波長微波諧振器的特性，深入綜合的研究了MKIDs探測器的探測機理。
　　再次，結合實驗室設計的64像元的芯片，對芯片的超導薄膜工藝制備過程進行了詳細的講解，包括涂光刻膠、紫外線曝光、蒸鍍鍍膜、光刻膠剝離

3、等工藝。利用方塊電阻測量儀測量薄膜方塊電阻和電阻率等參數(shù)，并結合 X射線衍射儀（XRD）對薄膜進行晶粒尺寸，結晶度，晶向等參量進行分析。利用自動超聲波電焊儀進行芯片的安裝固定。
　　最后，本文將芯片安裝在真空杜瓦，利用稀釋制冷機營造毫開溫區(qū)環(huán)境，在矢網(wǎng)上測量其傳輸系數(shù)。分析不同溫度，不同輸入功率以及杜瓦窗口不同探測目標對諧振特性的影響。得到了與設計頻率（4-5.575GHz）符合度很好的芯片，其Q值高達104。
　　本文具有