摻雜硅納結(jié)構(gòu)光學(xué)特性及應(yīng)用研究.pdf

1、光電探測器是一種利用光電效應(yīng)將輻射能轉(zhuǎn)換成電信號的器件，是光電探測系統(tǒng)中的重要組成部分。作為典型的探測器類型已經(jīng)在國防安全和人民生活中得到了舉足輕重的實際運用。隨著集成電路的發(fā)展，半導(dǎo)體光電探測器特別是硅基器件在微小化、集成化和低成本方面取得了越來越大的突破和進展，硅基光電器件在未來一段較長時間里仍然是今后研究和發(fā)展的主要器件之一。因此研究基于硅基的新型光電器件就具有重要的意義。
　　本論文主要研究了基于光電導(dǎo)增益的重摻雜硅納結(jié)構(gòu)

2、微光探測器、基于重摻雜硅類金屬等離激元天線諧振的紅外熱探測器的基本原理和相關(guān)技術(shù)。本文的主要內(nèi)容可以概括為以下幾點：
　?。?）分析了重摻雜硅納結(jié)構(gòu)的光電導(dǎo)增益增強原理，介紹了表面態(tài)、表面能級和內(nèi)建電場對結(jié)構(gòu)特性的影響。建立了器件仿真模型，進行了微弱光條件下器件光電響應(yīng)仿真，并對影響器件增益的參數(shù)如摻雜濃度、結(jié)構(gòu)尺寸、表面態(tài)濃度等進行了優(yōu)化。為了克服實際制作中納結(jié)構(gòu)表面態(tài)難以控制的問題，提出了一種利用PN結(jié)形成內(nèi)建電場來代替表面態(tài)

3、形成內(nèi)建電場的結(jié)構(gòu)，模擬發(fā)現(xiàn)該結(jié)構(gòu)的增益幾乎可達106，其增益的大小與表面態(tài)密度不再相關(guān)。
　?。?）研究了重摻雜硅納結(jié)構(gòu)類金屬的局域表面等離增強的原理，對重摻雜硅納結(jié)構(gòu)以及含有表面PN結(jié)的納結(jié)構(gòu)進行了光學(xué)特性和熱學(xué)特性的仿真，研究了結(jié)構(gòu)幾何尺寸、入射光偏振、摻雜濃度、襯底以及環(huán)境介質(zhì)等因素對于納結(jié)構(gòu)光學(xué)特性的影響。
　?。?）設(shè)計了重摻雜硅納結(jié)構(gòu)光電探測器的器件結(jié)構(gòu)和制備工藝流程，并采用電子束曝光和 ICP刻蝕工藝實際制作