基于干涉曝光技術(shù)的LSPR生化傳感芯片的研究.pdf

1、局域表面等離子體共振(Localized Surface Plasmon Resonance，LSPR)是由于光波激發(fā)導(dǎo)致貴金屬體內(nèi)自由電子發(fā)生共振的現(xiàn)象。當(dāng)入射光照射到金屬表面，光波的頻率與金屬納米結(jié)構(gòu)的電子頻率相同時(shí)，會(huì)使金屬表面電荷振蕩。此時(shí)金屬納米結(jié)構(gòu)表面的電磁場會(huì)極大地增強(qiáng)，使金屬納米結(jié)構(gòu)對(duì)其表面附近的物質(zhì)折射率變化十分敏感。如果將待檢測(cè)物修飾在金屬納米結(jié)構(gòu)表面，就能夠通過測(cè)試光譜的變化對(duì)待測(cè)物進(jìn)行傳感檢測(cè)。
　　為了制

2、備納米圖形結(jié)構(gòu)，本文搭建了一套勞厄德(Lloyd)干涉曝光系統(tǒng)，成功在2×2cm2的導(dǎo)電玻璃以及硅片襯底上制備出了納米光柵、點(diǎn)陣以及孔陣等結(jié)構(gòu)。隨后通過電子束蒸發(fā)，金屬剝離(lift-off)等工藝制作出傳感性能優(yōu)異的金屬納米結(jié)構(gòu)，為傳感芯片的制備提供了前提條件。
　　本文通過FDTD Solutions軟件對(duì)制備的金屬納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真，分析了金屬納米顆粒的形狀、尺寸以及材料等因素對(duì)傳感特性的影響。模擬了不同大小的金納米點(diǎn)陣在不同