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1、學(xué)位論文獨(dú)創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明:所提交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作和取得的研究成果。本論文中除引文外,所有實(shí)驗(yàn)、數(shù)據(jù)和有關(guān)材料均是真實(shí)的。本論文中除引文和致謝的內(nèi)容外,不包含其他人或其它機(jī)構(gòu)已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。其他同志對(duì)本研究所做的貢獻(xiàn)均已在論文中作了聲明并表示了謝意。學(xué)位論文作者簽名:巷,、1 3 期:2 0 l 緲j學(xué)位論文使用授權(quán)聲明研究生在校攻讀學(xué)位期間論文工作的知識(shí)產(chǎn)權(quán)單位屬南京師范大學(xué)。學(xué)校有權(quán)保存本學(xué)
2、位論文的電子和紙質(zhì)文檔,可以借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部?jī)?nèi)容,可以采用影印、復(fù)印等手段保存、匯編本學(xué)位論文。學(xué)??梢韵驀?guó)家有關(guān)機(jī)關(guān)或機(jī)構(gòu)送交論文的電子和紙質(zhì)文檔,允許論文被查閱和借閱。( 保密論文在解密后遵守此規(guī)定)保密論文注釋:本學(xué)位論文屬于保密論文,密級(jí):——保密期限為——年。學(xué)位論文作者簽名:杏必 指導(dǎo)教師簽名:日 期:M .j1 日期: 紗》如f 畢石.7f一 壘! 墮型一..—— ———_ ——————√———————
3、———————_ —————————_ ————————————_ ——_ —- - - _ ——_ ————————————————一一A b s t r a c tW i t h t h ed e v e l o p m e n t o fi n f o r m a t i o nt e c h n o l o g y , p h o t o nd r i v ef u n c t i o nm a t e r i a la n d
4、d e v i c e sw i l lb e w i d e l yu s e di no p t i c a ls t o r a g e ,o p t i c a l c o m p u t i n g a n d t h ef i e l do f o p t i c a li n f o r n l a t i o nt e c h n o l o g y .O b v i o u s l y , t h e p h o t
5、o n i cc r y s t a lr e l a t e dt oo p t i c a lc o m m u n i c a t i o na n di n f o r m a t i o nd i s p l a yh a sv e r yb r o a d a p p l i c a t i o np r o s p e c t s .I n t r o d u c i n ga d e f e c t i nt h ep
6、h o t o n i cc r y s t a l ,d e f e c t s i n t r o d u c e dd e s t r o y e dt h ep e r i o d i c s t r u c t u r e o f t h ed i s t r i b u t i o nm e d i a .f o r m i n ga p h o t o n i cc r y s t a lw i t hd e f e c
7、t s ,I ti sd i v i d e di n t o p o i n td e f e c t sa n dl i n ed e f .e c t sa c c o r d i n g t ot h ei n t r o d u c t i o no fd i f f e r e n ts t r u c t u r a ld e f e c t s .P h o t o n i cc r y s t a lp o i n t
8、d e f e c tc a l lb u i l dh i g hq u a l i t yf a c t o ro fr e s o n a n c ec a v i t yw i t h t h en a t u r a lf r e q u e n c yo f t h ep o i n td e f e c t e i g e n f r e q u e n c y , c a l l e d p h o t o n i cc
9、 r y s t a l m i c r o c a v i t y .P h o t o n i cc r y s t a l l i n ed e f e c ti s k n o w n a sp h o t o n i cc r y s t a lw a v e g u i d e .I n t r o d u c t i o no f t h ed e f e c ts t r u c t u r ei n t h ep h
10、o t o n i c c r y s t a l c a n a c h i e v e c e r t a i n f u n c t i o n a ld e v i c e s ·T h e m a i nw o r ko f t h i sp a p e ri sa p p l y i n g p l a n a rl i t h o g r a p h ya n d s o l 。g e l C O 。a s s
11、e m b l ym e t h o d s , d e s i g n e dt w o d i m e n s i o n a ld e f e c t sw e r ee n g i n e e r e di ni n v e r s eo p a lf i l m s .v e r t i c a ld e p o s i t - n g c o l l o i d a l c r y s t a lc o m p o s i
12、t e t h i n f i l m o n s i l i c o n s u b s t r a t e b y s o l 。g e lc o .a(chǎn) s s e m b I y ' t h eB P 2 12 p o s i t i v e p h o t o r e s i s t s p i n c o a t i n g o nc o m p o s i t ef i l m u n i f o r m l y ,
13、t h em a s k D a t t e r n i s r e p l i c a t e d o n t h e c o m p o s i t ef i l m t h r o u g hl i t h o g r a p h y p r o c e s s o fe x p o s i n g ,d e v e l o p i n g ,e t c ,v e r t i c a l d e p o s i t i n g a
14、l a y e ro fc o m p o s i t ef i l ma g a i nw i t ht h es 鋤p l e ,a n dm a k ep a t t e r nc o v e r e db yc o m p o s i t ef i l m .F i n a l l yg e t t i n gr i do f t h ec o l l o i d a lm i c r o s 口I h e r e s a n
15、dt h ep h o t o r e s i s tp a t t e r n ,t h e r e b yi n t r o d u c i n gd e f e c t si nt h ei n v e r s eo p a ls t r u c t u r e .B yf i r s tl i t h o g r a p h i cp a t t e mo n t h ew a f e r , c o v e r i n g t
16、 h el i t h o g r a p h yp a t t e r nm t h ed e p o s i t i o no f c o l l o i d a lc r y s t a lf i l m s .F i n a l l ys i n t e r i n g r e m o v ep h o t o r e s i s ta n d m i c r o s p h e r e 8 ,f o r n li n t r
17、o d U C i n gd e f e c t so nt h es u r f a c eo f t h ew a f e r w i t ht h ep r o t e i n m e m b r a n e c o n t a c t ·T h e s a m p l ew a s c h a r a c t e r i z e d w i t hs c a n n i n ge l e c t r o nm i c
18、r o s c o p e .A n a l y s i so f t h ei m p a c to f ap h o t o r e s i s t p a t t e r no n t h e c o l l o i d a l m i c r o s p h e r e s a r r a n g e m e n t ·I n a d d i t i o n ,t h e p a p e ra l s od e s c
19、 r i b e st h ep r o c e s sp a r a m e t e r sw i t ht h ep r e p a r a t i o no fa n t i .D r o t e i n f i l ms t r u c t u r e a tt h ef i b e r e n d f a c e ,f o r m e da ”a n t i —p r o t e i n —f i b e r o p t i
20、c m i c r os t r u c t u r e o ft h e d e v i c e ”,t h e s t r u c t u r e s h a v e b e e nc h a r a c t e r i z e d b ys c a n n i n g e l e c t r o nm i c r o s c o p e ,a n d t h es t r u c t u r eo f t h et e s ts
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