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文檔簡介
1、表面等離子激元共振(SPR)傳感器是一種性能優(yōu)良的光學(xué)傳感器,有著良好的應(yīng)用前景。本文對傳統(tǒng)Kretschmann結(jié)構(gòu)的SPR傳感器的性能進(jìn)行了研究,對SPR傳感器的主要性能參數(shù)進(jìn)行了模擬,并利用虛設(shè)層和多孔二氧化硅薄膜成功優(yōu)化了SPR傳感器的品質(zhì)因子。
通過在SPR傳感器的金屬薄膜上添加虛設(shè)層,可以在不改變傳感器共振角及共振角處反射率的情況下提高SPR傳感器的品質(zhì)因子。與傳統(tǒng)SPR傳感器相比,鍍1367nm氯化鉀薄膜或235
2、nm氮化硅薄膜的SPR傳感器的品質(zhì)因子可以放大5.53%或11.41%。添加虛設(shè)層之所以可以使品質(zhì)因子增大,主要是因?yàn)榫€寬的減小速率快于靈敏度的減小速率。
本文分析了多孔二氧化硅薄膜對SPR傳感器的性能影響。結(jié)果表明,通過添加低折射率的多孔二氧化硅薄膜可以提高SPR傳感器的品質(zhì)因子。尤其是,鍍40nm孔隙率為90%即折射率1.04的多孔二氧化硅薄膜可以將SPR傳感器的品質(zhì)因子提高331%。而且,本文還發(fā)現(xiàn),多孔二氧化硅薄膜折射
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