亞波長(zhǎng)金屬結(jié)構(gòu)在高分辨聚焦成像的應(yīng)用.pdf

1、隨著21世紀(jì)初納米科技的飛速發(fā)展，納米光子學(xué)也如雨后春筍般在世界各地應(yīng)運(yùn)而生，而且得到了蓬勃發(fā)展。當(dāng)前納米光子學(xué)中有一個(gè)研究熱點(diǎn)，那就是Plasmonic, Plasmonic是基于表面等離子體激元（Surface Plasmon Polaritons）而新興的一個(gè)研究領(lǐng)域，表面等離子體借助金屬納米顆粒或者貴金屬的亞波長(zhǎng)的納米周期結(jié)構(gòu)，可以將光的電磁能量盡可能的限制在納米量級(jí)的范圍之內(nèi)，使得近場(chǎng)區(qū)域的光的電磁場(chǎng)強(qiáng)度得到很大的提升，甚至通

2、過(guò)這些周期性的金屬納米結(jié)構(gòu)操控光的活動(dòng)。表面等離子體有兩個(gè)重要的性質(zhì)：第一個(gè)是表面等離子體可以將光波約束在亞波長(zhǎng)尺寸的空間內(nèi)；第二個(gè)是局域的電磁場(chǎng)增強(qiáng)，即金屬—介質(zhì)的界面上存在比較大的場(chǎng)強(qiáng)分布。
　　作為研究表面等離子光學(xué)的一個(gè)重要工具，近場(chǎng)光學(xué)掃描顯微鏡起著無(wú)可替代的作用。近場(chǎng)光學(xué)掃描顯微鏡是光學(xué)領(lǐng)域的一次革命，它能獲得突破傳統(tǒng)光學(xué)衍射極限的分辨率，為本文研究表面等離子體的超聚焦成像起到?jīng)Q定性的作用。本文簡(jiǎn)明扼要的介紹了近場(chǎng)光學(xué)

3、顯微鏡的發(fā)展歷史，然后介紹了近場(chǎng)掃描探針金屬以及相應(yīng)的系統(tǒng)組成。最后，結(jié)合本文的主要研究?jī)?nèi)容介紹了近場(chǎng)光學(xué)掃描顯微鏡的應(yīng)用。
　　本文從物理模型上詳細(xì)介紹了表面等離子的各種性質(zhì)，并且詳細(xì)介紹了表面等離子的激發(fā)方式。而在表面等離子透鏡的制作方面，我們采用的聚焦離子束刻蝕技術(shù)制作，F(xiàn)IB制作工藝具有直接刻寫(xiě)非常小的線條的能力，本文也簡(jiǎn)單的介紹了一下聚焦等離子束刻蝕技術(shù)，分析了聚焦等離子束制作表面等離子透鏡的各種因素。
　　在表面