熱致變色釩氧化物膜的制備、結構與性能的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、釩的氧化物非常復雜,至少有八種釩氧化物具有從高溫金屬相到低溫半導體相的轉(zhuǎn)換特性,其轉(zhuǎn)換溫度在-147℃～68℃。其中二氧化釩(VO2)因其轉(zhuǎn)換溫度(68℃)在室溫附近而最引人注目,在其轉(zhuǎn)換過程中電學和光學等物理性能會發(fā)生巨變?；谶@種特性,VO2薄膜在智能窗、光存儲、激光防護、紅外探測等領域有廣闊的前景。
　　 本文制備釩氧化物薄膜的主要方法為反應磁控濺射法。由于影響反應磁控濺射的因素很多,以及釩氧化物的種類繁多,而且具有68℃

2、可逆相變的VO2薄膜的制備窗口范圍很窄,制備單一物相的VO2薄膜非常困難。尋找一種接近制備單一VO2薄膜的工藝條件成為制造VO2薄膜功能器件的先決條件。本文著重研究反應磁控濺射制備釩氧化物薄膜時濺射功率(P),濺射總壓(W),基體溫度(T)對濺射釩氧化物薄膜物相的影響。
　　 實驗發(fā)現(xiàn)在功率為200W和250W,基體溫度為350℃和400℃下能夠制備出物相單一的VO2薄膜,但是不同的沉積條件,制得的VO2類型不同?；w加溫條件下

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