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文檔簡介
1、為了適應ULSI高速、高集成度發(fā)展,人們開始探索具有超低介電常數(shù)的電互聯(lián)介質(zhì)材料。 本文用溶膠-凝膠方法以非離子型表面活性劑PPE為模板制備了HF催化的多孔氧化硅薄膜和HCl催化的多孔氧化硅薄膜。為了尋找薄膜結(jié)構(gòu)和電學性質(zhì)的關系,對薄膜的形貌、結(jié)構(gòu)和基于SCLC方法的電學特性進行了探討。 結(jié)果表明,以HF為催化劑的薄膜具有較好的性質(zhì),其介電常數(shù)為1.542。改性、退火過程和表面活性劑的加入能夠優(yōu)化薄膜的性質(zhì)。重點對不同涂
2、敷層數(shù)的的薄膜的形貌和電學性質(zhì)進行了分析,用層疊覆蓋模型解釋了膠體顆粒在襯底上的凝聚機理。并對不同摻F量的多孔氧化硅薄膜的Ⅰ-Ⅴ特性和隙態(tài)密度進行了分析,發(fā)現(xiàn)少量HF的加入會優(yōu)化薄膜的性質(zhì),而多余HF的加入會使得薄膜性質(zhì)變差。這歸因于HF對硅氧骨架具有腐蝕作用。HF當中存在活潑的F元素,它容易取代-OH,形成穩(wěn)定的Si-F,也容易打斷Si-O鍵,制造出額外的Si-OH,最后形成SiF4以氣體的形式釋放出去。薄膜當中的缺陷來源于孔壁上的懸
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