三氧化鎢（WO-,3-）電致變色薄膜的制備及性能研究.pdf

1、電致變色薄膜可用于靈巧窗,大面積、高對(duì)比度、高分辨率及無視角差的顯示屏,汽車后視鏡的自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)等方面,具有很廣泛的應(yīng)用前景.在眾多電致變色材料中,三氧化鎢(W03)具有著色效率高、可逆性好、響應(yīng)時(shí)間短、壽命長(zhǎng)、成本低等特點(diǎn),被認(rèn)為是最有發(fā)展前途的電致變色材料之一. 本課題采用電子束蒸發(fā)法在導(dǎo)電玻璃(ITO)上沉積W03薄膜,通過原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射儀(XRD)和紫外.可見光分光光度計(jì)對(duì)薄膜進(jìn)行表征和分析,討論了不

2、同鍍膜工藝參數(shù)對(duì)薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和電致變色性能的影響,確定了較為合適的變色薄膜厚度和退火溫度. 通過對(duì)樣品的AFM分析發(fā)現(xiàn),室溫條件下所鍍薄膜隨著退火溫度的升高,晶粒逐漸增大.350℃退火的WO<,3>薄膜隨著膜厚的增加或基片溫度的升高,薄膜表面的團(tuán)簇現(xiàn)象增多;束流大小對(duì)薄膜表面形貌無明顯影響. 通過對(duì)基片和靶材的XRD分析,證明了靶材呈多晶態(tài),具有三斜相結(jié)構(gòu).對(duì)室溫下所鍍薄膜退火后進(jìn)行分析,結(jié)果表明W03薄膜由非晶態(tài)向晶