二次非球面反射鏡和透鏡中心誤差測(cè)量的研究.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、非球面光學(xué)元件的檢測(cè)不僅包括非球面面形的檢測(cè),也包括非球面透鏡中心誤差的測(cè)量,由于在各種光學(xué)系統(tǒng)中,光軸的共軸性是保證光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的基本要求,而在非球面透鏡的加工過程中,由于人為、工藝、機(jī)器等因素的影響,會(huì)產(chǎn)生中心誤差,從而破壞了實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)的共軸性,因此非球面透鏡中心誤差也是評(píng)價(jià)非球面透鏡的重要指標(biāo)。對(duì)于非球面反射鏡,在其安裝過程中會(huì)產(chǎn)生非球面反射鏡的光軸和光學(xué)系統(tǒng)的光軸不重合的問題,也破壞了光學(xué)系統(tǒng)的共軸性,因此研究和設(shè)計(jì)軸對(duì)稱

2、非球面透鏡中心誤差的測(cè)量系統(tǒng)和確定非球面反射鏡的光軸是本課題的主要任務(wù)。 本文介紹了一種拋物面反射鏡光軸確定的方法,利用兩束平行光,分別是一束與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸平行的光和一束與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸成一定角度的斜平行光,這兩束平行光同時(shí)入射到拋物面反射鏡,當(dāng)拋物面反射鏡繞著機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時(shí),利用上述兩束平行光經(jīng)拋物面反射鏡反射后的像點(diǎn)運(yùn)動(dòng),調(diào)整拋物面反射鏡的位置,直到像點(diǎn)不隨反射鏡的旋轉(zhuǎn)而變化,說明反射鏡的光軸與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸重合。該方法的定軸的精度

3、可以達(dá)到:傾斜誤差1',平移誤差5μm。對(duì)于軸對(duì)稱非球面透鏡中心誤差的測(cè)量,本文是利用兩束不同入射高度的激光經(jīng)束腰變換光學(xué)系統(tǒng)后入射到被測(cè)透鏡的非球面表面,分別由CCD攝像頭接收非球面的反射激光光斑,CCD的光敏面在反射激光光束的束腰位置,調(diào)整被測(cè)透鏡位置,直到同時(shí)滿足上述兩個(gè)反射激光的束腰中心位置不隨被測(cè)非球面透鏡旋轉(zhuǎn)而變化時(shí),則說明被測(cè)透鏡的非球面對(duì)稱軸與機(jī)械旋轉(zhuǎn)軸重合,再利用球面偏心測(cè)量系統(tǒng)檢測(cè)被測(cè)透鏡球面一面的偏心量,即可以求得

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