帶涂層機(jī)械零件表面缺陷的激光超聲檢測(cè)方法研究.pdf

1、帶涂層機(jī)械零件表面的缺陷檢測(cè)是個(gè)比較困難的問(wèn)題，傳統(tǒng)的檢測(cè)方式存在著靈敏度低，檢測(cè)效率差等問(wèn)題。而激光具有強(qiáng)的可控性，它激發(fā)的超聲檢測(cè)信號(hào)具有高的空間和時(shí)間分辨率的特點(diǎn)，使激光超聲技術(shù)在此領(lǐng)域有更廣闊的應(yīng)用前景。本文以實(shí)驗(yàn)和理論相結(jié)合的方式探究激光超聲檢測(cè)帶涂層基底缺陷時(shí)的可行性、高效性，對(duì)在不同長(zhǎng)、寬、高的缺陷尺寸下形成信號(hào)波，根據(jù)飛行時(shí)間（TOF）原理進(jìn)行尺寸的計(jì)算，對(duì)形成的超聲頻率分布規(guī)律進(jìn)行了研究。探索了造成缺陷的形狀和尺寸檢測(cè)

2、誤差的原因，對(duì)涂層引起超聲色散的物性參數(shù)也進(jìn)行了反演。
　　首先基于熱彈機(jī)制原理，應(yīng)用零差干涉儀檢測(cè)了涂層影響下長(zhǎng)寬尺寸的缺陷信號(hào)，構(gòu)造了兩種不同的模型對(duì)深度的尺寸進(jìn)行檢測(cè)，計(jì)算出缺陷深度的大小。其次對(duì)造成尺寸誤差的原因進(jìn)行了分析，發(fā)現(xiàn)涂層物性參數(shù)會(huì)引起超聲衍射和色散而造成一定程度的尺寸檢測(cè)誤差。構(gòu)建了高精度反射率檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)涂層厚度進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)驗(yàn)表明隨著涂層厚度層數(shù)的增加造成誤差的增加是非線性的。最后，應(yīng)用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法反演了涂層的