CPBA圓形壓電雙晶驅(qū)動器的性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在所有涉及微機械系統(tǒng)（MEMS）的機械元件中，驅(qū)動器作為MEMS中的核心部件，常被認為是限制其性能和壽命的關鍵因素，其發(fā)展狀況也成為衡量MEMS發(fā)展水平的重要標志。在眾多的驅(qū)動器類型中，壓電陶瓷驅(qū)動器因具有尺寸小、線性好、位移分辨率高、頻率響應快、能耗低等良好的性能而備受關注。
　　本文介紹的圓形壓電雙晶驅(qū)動器（Circular piezoelectric bimorph actuator, CPBA）是建立在壓電材料的逆壓電效應

2、理論基礎之上，由兩片極性相同的圓形壓電陶瓷薄片通過環(huán)氧樹脂粘結在金屬基層兩側(cè)構成的。由于該驅(qū)動器具有結構簡單、尺寸小、質(zhì)量輕、輸出位移較大等特點，可廣泛用于聲學檢測、微小型機器人驅(qū)動器、激光束偏轉(zhuǎn)器、自適應光學系統(tǒng)、加速度計、生物化學傳感器等方面。本文首先根據(jù)圓形壓電雙晶驅(qū)動器的具體結構形式，基于現(xiàn)有的壓電薄板彈性理論，利用解析法近似求解，推導了在周邊固支邊界條件下，圓形壓電雙晶驅(qū)動器的固有頻率及最大振幅的計算公式。其次，利用ANSYS

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