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文檔簡介
1、音圈電機()Voice Coil Motor是一種直接驅(qū)動的直線電機,其結(jié)構(gòu)簡單、體積小、力特性好,回避了傳統(tǒng)絲杠傳動中慣性大、機械滯后時間長等問題,使得它具有高頻響、高運動加速度、高定位精度等優(yōu)點,因此,在超精密加工、半導體鍵合等領域中被廣泛應用。隨著高精度雙軸進給伺服系統(tǒng)數(shù)控加工技術(shù)的發(fā)展,鑒于音圈電機上述獨特的優(yōu)勢,二維平臺音圈電機驅(qū)動控制已成為當前研究的熱點。
本文在國家自然科學等基金的支持下,對二維平臺的音圈電機驅(qū)動
2、控制進行了深入研究,主要內(nèi)容如下:
1)提出了基于設定值前向補償?shù)膭?chuàng)新型交叉耦合控制方法。所提出的新方法是在傳統(tǒng)的基于輪廓誤差分配模型交叉耦合控制方法的基礎上,為克服傳統(tǒng)控制方法跟蹤精度難以進一步提高的缺點提出的。所提出的新型控制方法中的前向補償功能在線預先修正了偏差,加快了誤差修正速度,減小了兩維運動之間互相影響,提高了系統(tǒng)的控制精度。對直線和圓曲線的跟蹤結(jié)果表明,與改進前交叉耦合控制方法相比,新方法在抗干擾能力和跟蹤能力方
3、面,表現(xiàn)出良好的性能。
2)設計了基于RBF神經(jīng)網(wǎng)絡的混合控制策略。由于基于設定值前向補償?shù)慕徊骜詈峡刂圃趯嶋H操作中參數(shù)調(diào)整復雜且難以尋找到最優(yōu)值,本文融合了基于設定值前向補償?shù)慕徊骜詈峡刂品椒ㄇ跋蜓a償?shù)墓δ芗吧窠?jīng)網(wǎng)絡自適應控制的優(yōu)點,提出了基于RBF神經(jīng)網(wǎng)絡的混合控制方法。仿真結(jié)果表明,所提出的混合控制方法實現(xiàn)了神經(jīng)網(wǎng)絡在線調(diào)整并有效地提高了系統(tǒng)的定位精度。
3)在二維實驗平臺上對音圈電機進行控制實驗。將基于設定值
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