氣浮支承微孔陣列式節(jié)流器的性能研究.pdf

1、氣浮支承由于其高精度、低摩擦等優(yōu)點(diǎn)在精微加工、精密測(cè)量等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,已經(jīng)成為超精密運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)最重要的基礎(chǔ)元件之一。隨著超精密運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位精度由微米量級(jí)向納米量級(jí)的提升,氣浮支承內(nèi)部氣體流動(dòng)引起的微幅振動(dòng)問題已經(jīng)成為阻礙超精密氣浮運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)繼續(xù)發(fā)展的瓶頸。為減小氣浮支承的微振動(dòng),保證超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度,本文主要進(jìn)行了以下研究工作:
　　首先,在廣泛閱讀和深入總結(jié)國內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)資料的基礎(chǔ)上,應(yīng)用氣體潤滑原理和氣旋理論,根據(jù)國

2、內(nèi)目前可加工能力,設(shè)計(jì)了一種新型氣浮支承節(jié)流器—微孔陣列式節(jié)流器,其目的在于保持氣浮支承靜態(tài)性能不變的情況下,減小其微振動(dòng);
　　其次,利用FLUENT軟件對(duì)裝有微孔陣列式節(jié)流器和單孔節(jié)流器的氣浮支承的氣膜流場(chǎng)進(jìn)行數(shù)值仿真,計(jì)算了不同類型節(jié)流器氣浮支承在相同工作條件下的靜態(tài)特性和微振動(dòng)特性;
　　最后,建立氣浮支承實(shí)驗(yàn)測(cè)試平臺(tái),驗(yàn)證 FLUENT仿真結(jié)果,引入 LabVIEW虛擬儀器技術(shù),設(shè)計(jì)氣浮支承靜載測(cè)試程序,結(jié)合NI硬