氣浮支承微孔陣列式節(jié)流器的性能研究.pdf

1、氣浮支承由于其高精度、低摩擦等優(yōu)點在精微加工、精密測量等領域得到了廣泛應用,已經成為超精密運動機構最重要的基礎元件之一。隨著超精密運動機構定位精度由微米量級向納米量級的提升,氣浮支承內部氣體流動引起的微幅振動問題已經成為阻礙超精密氣浮運動機構繼續(xù)發(fā)展的瓶頸。為減小氣浮支承的微振動,保證超精密運動平臺的定位精度,本文主要進行了以下研究工作:
　　首先,在廣泛閱讀和深入總結國內外相關文獻資料的基礎上,應用氣體潤滑原理和氣旋理論,根據國

2、內目前可加工能力,設計了一種新型氣浮支承節(jié)流器—微孔陣列式節(jié)流器,其目的在于保持氣浮支承靜態(tài)性能不變的情況下,減小其微振動;
　　其次,利用FLUENT軟件對裝有微孔陣列式節(jié)流器和單孔節(jié)流器的氣浮支承的氣膜流場進行數值仿真,計算了不同類型節(jié)流器氣浮支承在相同工作條件下的靜態(tài)特性和微振動特性;
　　最后,建立氣浮支承實驗測試平臺,驗證 FLUENT仿真結果,引入 LabVIEW虛擬儀器技術,設計氣浮支承靜載測試程序,結合NI硬