雙聯(lián)腔三振子無閥壓電微泵的研究與設(shè)計.pdf

1、微流體系統(tǒng)是指在微觀尺寸控制、操作和檢測復(fù)雜流體的技術(shù)，微泵是微流體系統(tǒng)的主要驅(qū)動器件之一，是微流體系統(tǒng)發(fā)展水平的重要標志。目前己研制出多種類型的微型泵，而其中無閥微泵因其結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點成為近年來的研究熱點。
　　本論文提出了一種新型無閥微泵——雙聯(lián)腔三振子無閥壓電微泵。它的主要組成部分包括兩個連體腔、腔體兩側(cè)的擴張/收縮口以及三個膜（中間膜是共用膜）及膜上的壓電振子。本新型微泵結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、易控制、可靠性和使用壽命顯著提高，可

2、以能實現(xiàn)精細、小脈動、大流量、高效率地傳輸流體。
　　課題主要研究內(nèi)容：
　　(1)提出一種新型無閥微泵，闡述了其工作原理，對它的致動方式、驅(qū)動方案、復(fù)合壓電振子的結(jié)構(gòu)、擴張/收縮管的形狀和尺寸、泵腔及緩沖腔的形狀和幾何參數(shù)進行了研究和設(shè)計。
　　(2)建立了新型微泵工作的關(guān)鍵部件——復(fù)合壓電振子的力學(xué)模型，推導(dǎo)了復(fù)合壓電振子的彈性曲面微分方程和振動方程。利用ANSYS軟件對振子進行了靜力學(xué)分析和動力學(xué)分析，對振子進行