微細(xì)電火花加工放電狀態(tài)檢測(cè)研究.pdf

1、隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展和對(duì)產(chǎn)品微細(xì)化的追求，微細(xì)電火花加工技術(shù)越來(lái)越受到科研人員的重視，并廣泛應(yīng)用于航空航天、醫(yī)學(xué)、模具、微電子器件、生物技術(shù)、微型傳感器和微型電器制造等方面。準(zhǔn)確、穩(wěn)定、高效的微細(xì)電火花加工系統(tǒng)一直是科研人員努力的目標(biāo)。電火花放電狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)是機(jī)床伺服的關(guān)鍵部分，是電火花機(jī)床穩(wěn)定加工的必要條件，研制出適合微細(xì)電火花加工的放電檢測(cè)系統(tǒng)具有重要的意義。
　　本文首先介紹了國(guó)內(nèi)外微細(xì)電火花加工技術(shù)及放電狀態(tài)檢測(cè)的現(xiàn)狀，

2、并詳細(xì)闡述了傳統(tǒng)放電狀態(tài)檢測(cè)的原理。同時(shí)針對(duì)實(shí)驗(yàn)室五軸聯(lián)動(dòng)微細(xì)電火花機(jī)床，研究了其電源的放電特性，明確了新型放電狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)研制中應(yīng)該解決的難點(diǎn)：克服微細(xì)電火花放電電壓的不規(guī)律性。提出了系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)思路：通過(guò)電壓比較器的電壓輸出高低區(qū)分當(dāng)前放電狀態(tài)，高電平代表極間開(kāi)路未放電，低電平代表放電。利用RC低通濾波器處理電壓比較器的輸出，反映一段時(shí)間內(nèi)加工狀態(tài)的穩(wěn)定性并反饋給機(jī)床伺服系統(tǒng)。
　　根據(jù)這一思路，本文完成了新型放電狀態(tài)檢測(cè)系

3、統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)，利用PIC單片機(jī)進(jìn)行后期的數(shù)據(jù)處理及傳輸，并驗(yàn)證了整個(gè)系統(tǒng)的工作穩(wěn)定、準(zhǔn)確性。系統(tǒng)的正確工作依賴(lài)于比較器閾值電壓和RC濾波器參數(shù)的設(shè)定，本文通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)及實(shí)際加工波形的分析完成了不同加工條件下相關(guān)參數(shù)值的選取，實(shí)驗(yàn)表明，新型放電檢測(cè)系統(tǒng)能夠準(zhǔn)確反映機(jī)床的加工狀態(tài)。應(yīng)用本文設(shè)計(jì)的放電檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)際加工驗(yàn)證，通過(guò)小孔加工試驗(yàn)表明使用新型檢測(cè)系統(tǒng)后，機(jī)床加工效率得到較大程度的提高；通過(guò)微細(xì)軸加工實(shí)驗(yàn)表明新型檢測(cè)系統(tǒng)和機(jī)床伺服