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文檔簡介
1、在長度、位移等光學非接觸測量中，激光三角測量是一種常用的方法。
位置敏感探測器PSD相比于其它光電位置探測器件，具有分辨率高，響應(yīng)速度快等特點。
本文首先介紹了該課題的研究背景和意義，并通過閱讀大量的國內(nèi)外最新文獻資料，對激光三角法和位置敏感探測器PSD的基本原理進行了闡述和分析；并在此基礎(chǔ)上提出了該系統(tǒng)要實現(xiàn)的功能，對基于PSD的高速、高精度位移檢測系統(tǒng)進行了具體的硬件和軟件設(shè)計。由于PSD位移檢測屬于微弱
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