光學(xué)薄膜激光損傷特性研究.pdf

1、隨著激光技術(shù)的不斷發(fā)展，激光與光學(xué)系統(tǒng)的相互作用研究變得越來越重要。而作為幾乎所有光學(xué)元件中必不可少的基本元件，光學(xué)薄膜是激光系統(tǒng)中非常重要而又最容易損傷的薄弱環(huán)節(jié)。因此研究光學(xué)薄膜的激光破壞機(jī)制，如何提高激光損傷閾值，具有重要的實(shí)際意義。
　　 本文首先分析了激光與薄膜材料的相互作用，并從微觀和宏觀方面較為全面的闡述了光學(xué)薄膜激光損傷機(jī)理，為后續(xù)研究打下了理論基礎(chǔ)。結(jié)合文獻(xiàn)給出的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，系統(tǒng)地從激光和薄膜自身兩個(gè)方面介紹了影

2、響薄膜激光損傷閾值的因素，并為如何提高光學(xué)薄膜激光損傷閾值提出建議。從熱傳導(dǎo)方程出發(fā)，建立了激光輻照多層薄膜的溫度場計(jì)算模型，利用交替隱型方法編制了計(jì)算程序，并與美國斯坦福大學(xué)的計(jì)算結(jié)果進(jìn)行了詳細(xì)校核，證實(shí)了所編制程序的正確性和可靠性。在此基礎(chǔ)上，對不同條件、不同材質(zhì)的薄膜溫度場進(jìn)行了數(shù)值模擬分析。分析了有限元方法在熱傳導(dǎo)方面的應(yīng)用，利用有限元分析軟件ANSYS對K9玻璃基底上的Al203薄膜進(jìn)行模擬，結(jié)果表明對于Al203薄膜，徑向溫