原子力顯微鏡測頭系統(tǒng)的研究.pdf

1、969n9‘中國計量科學研究院碩士學位論文原于力顯徽鏡測頭系統(tǒng)的研究金其海高思田研究員中國計量科學研究院摘要本課題旨在研制一種高精度的原子力顯微鏡測頭系統(tǒng)，應用在課題“25維大范圍納米結構測量系統(tǒng)”中，作為其測頭使用。本文給出了一種原子力顯微鏡測頭系統(tǒng)的設計方法、實驗研究和性能評價。通過對國內外研究現狀和各種測量方法的研究比較，采用了激光光束偏轉法的原理，經過理論分析，結合實驗結果，確定了該實驗裝置，并通過實驗得出該實驗裝置分辨率為00

2、14珊。文中對一些實驗裝置進行了理論分析和實驗研究，在實驗中的得到其最佳的性能比參數。重點分析了會聚透鏡的選擇，并討論了光電探測技術。結合實驗測量結果和對一些實驗現象的分析，得到測頭系統(tǒng)的所要研究的重點方向和所要注意的一些事項。通過實驗研究了影響實驗結果的一些因素，并采取了相應的措施，改進了該實驗裝置的性能，提高了測量精度。文中還討論了系統(tǒng)的振動、系統(tǒng)的漂移和壓電陶瓷非線性等因素對測量系統(tǒng)的影響。關鍵詞：原子力顯微鏡、光束偏轉法、光電探