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文檔簡介
1、在微納米測量領域，微小球經常被用來作為球形探針。傳統(tǒng)的接觸探頭通常采用直徑為幾個毫米到0.3毫米范圍的紅寶石球或鋼球，但是為了方便插入小的凹槽中測量凹槽壁等小工件，要求探球盡可能小。隨著測球越來越小，不可能有很好的球度，所以，需要測量探球圓度和準確半徑值。
針對傳統(tǒng)測頭圓度的測量，本文提出新的方法，研制了微小球最大橫截面圓度測量系統(tǒng)，基于邁克爾遜干涉原理研發(fā)圓度測量方案，提升測量分辨率可以達到納米級，并且提出半徑變化值的測量方
2、案和誤差分離方法。
本文采用兩點法測量，借助兩個小的邁克爾遜激光干涉儀采用對徑夾持的方法，可以直接測量微小球的直徑。在轉臺帶動待測球轉動過程中，讀取兩干涉儀偏移讀值，在測量直徑時可以消除轉軸偏差。
研發(fā)的圓度測量系統(tǒng)分辨率可以達到1nm和精度10nm。本文測量了三個微小球的直徑變化值，并都具有良好的重復性。該系統(tǒng)可實現(xiàn)數(shù)十微米至1mm直徑范圍內的小球直徑和最大直徑處圓度的高精度測量。
圓度測量原則上受測量主
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