基于激光位移量測(cè)量的微小摩擦力測(cè)試系統(tǒng)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、進(jìn)入21世紀(jì)后，隨著光機(jī)電一體化技術(shù)的迅速發(fā)展，微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)得到的進(jìn)一步的發(fā)展，正在向一個(gè)更小，更精密，更尖端的領(lǐng)域內(nèi)步入。在這些技術(shù)發(fā)展的同時(shí)也對(duì)現(xiàn)存的理論提出了一定的要求.在眾多亟待解決的問(wèn)題中，微小摩擦力研究的發(fā)展被逐漸的提上了日程。如何檢測(cè)，怎樣建立一個(gè)可靠的檢測(cè)系統(tǒng)是解決這個(gè)重要問(wèn)題的關(guān)鍵任務(wù)。 本課題的主要研究?jī)?nèi)容是研制出一個(gè)可以應(yīng)用在微小摩擦力范圍內(nèi)的摩擦力測(cè)試儀。將激光三角位移測(cè)量?jī)x與雙平行板彈簧片應(yīng)力臂相配合

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