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1、平面光波導(dǎo)是光集成的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu).該文在系統(tǒng)綜述有源和無(wú)源平面光波導(dǎo)材料研究進(jìn)展、前景和面臨的主要問(wèn)題的基礎(chǔ)上,應(yīng)用溶膠—凝膠技術(shù),以TEOS和ZrOCL<,2>·8H<,2>O為先驅(qū)體,研制了用于有源光波導(dǎo)基質(zhì)材料的ZrO<,2>—SiO<,2>二元系統(tǒng)凝膠玻璃塊材和薄膜.研究了ZrO<,2>—SiO<,2>二元系統(tǒng)凝膠玻璃中,體系組分、熱處理溫度等對(duì)系統(tǒng)折射率的影響,確認(rèn)了影響ZrO<,2>—SiO<,2>二元系統(tǒng)薄膜折射率和厚度的幾個(gè)
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