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文檔簡介
1、本文圍繞KZ-400離子束刻蝕裝置的設(shè)計、安裝與調(diào)試進行了系統(tǒng)的介紹，主要包括以下內(nèi)容：1.該裝置的研制背景和總體設(shè)計方案的介紹；2.通過工作臺二維傳動力矩的分析計算，選擇和確定了運動導(dǎo)軌、傳動螺桿及傳動鏈的形式和結(jié)構(gòu)；簡介固體潤滑機理，對用于導(dǎo)軌潤滑的二硫化鉬潤滑劑進行了真空潤滑性能試驗和質(zhì)譜分析；3.用有限元分析法對真空室的受壓形變和工作臺掃描離子束時的溫度分布進行了計算，并據(jù)此選擇了合理的真空腔和工作臺結(jié)構(gòu)；4.真空系統(tǒng)的
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