全息離子束刻蝕真空紫外及軟X射線衍射光柵研究.pdf

1、中國科學技術(shù)大學博士學位論文全息離子束刻蝕真空紫外及軟X射線衍射光柵研究姓名：徐向東申請學位級別：博士專業(yè)：核技術(shù)及應用指導教師：張允武傅紹軍2001.4.1線空比～1。然后用O，反應離子束刻蝕對光刻膠進行灰化處理，以獲得所要求的4：6線空比。利用上述工藝制作出線空比4：6、槽深近70m、有效刻劃面積6020mm2的200凸，mmLanlinar光柵，它將用于二期工程新建的光譜輻射基準和計量光束線站球面光柵單色儀中。4)在軟X射線自支撐

2、透射光柵的研制中，首先對美國MIT空間研究中心的x射線透射光柵制作工藝發(fā)展過程進行了詳細的介紹，以說明高質(zhì)量的X射線透射光柵制作需要深入細致的研究和長期工作的積累。對全息一離子束刻蝕軟x射線自支撐透射光柵制作工藝進行了系統(tǒng)的實驗研究。分析了高線密度光刻膠光柵圖形產(chǎn)生的全息曝光、顯影過程中的影響因素，發(fā)現(xiàn)光學平臺上反射鏡和記錄的位置對光柵的襯度、線條的完整性影響很大。對支撐結(jié)構(gòu)制作過程中的UV光刻、電鍍等影響光柵質(zhì)量的關(guān)鍵工藝進行了詳細的