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1、精密定位技術(shù)是蔭罩式等離子顯示器(SMPDP)生產(chǎn)過程中重要的支撐性技術(shù),是保證PDP良好成像效果的前提。PDP的高清顯示功能需要通過PDP的前、后基板和蔭罩板之間精確定位來(lái)實(shí)現(xiàn)。
論文在精密定位研究的基礎(chǔ)上,研制開發(fā)了蔭罩式等離子顯示器(SMPDP)精密定位裝置。精密定位裝置以精密微動(dòng)臺(tái)為核心,采用CCD和激光莫爾傳感器檢測(cè)位置偏差,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用脈沖細(xì)分式驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī),并通過精密絲杠機(jī)構(gòu)將細(xì)分后步進(jìn)電機(jī)的微小角度轉(zhuǎn)化為微
2、米級(jí)的線性位移,以滿足定位控制的需要,最終的定位誤差依靠計(jì)算機(jī)閉環(huán)控制作用來(lái)消除。為實(shí)現(xiàn)大行程下的高精度定位,提出了粗定位與精定位相結(jié)合的兩段式復(fù)合定位方法,其中粗定位采用CCD圖像定位技術(shù),根據(jù)檢測(cè)到的CCD信號(hào),利用計(jì)算機(jī)視覺進(jìn)行圖像識(shí)別和處理,計(jì)算基板與蔭罩板之間的位置偏差,發(fā)出相應(yīng)指令,驅(qū)動(dòng)定位臺(tái)進(jìn)入定位點(diǎn)附近,實(shí)現(xiàn)±220μm的定位精度。粗定位結(jié)束后,根據(jù)光柵衍射的直線位移特性和角度位移特性,利用激光莫爾信號(hào)作為檢測(cè)信號(hào),來(lái)實(shí)
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