2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文DSP平臺(tái)下劑量控制板固件研究與開發(fā)姓名：余建康申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：機(jī)械電子工程指導(dǎo)教師：史鐵林來(lái)五星20060411華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文IIAbstractIndertoimproveourcountry’sindependentdevelopmentinnovationabilityofstrategicequipmentinsemiconductchipmanufacurin

2、gtherealtimeDoseControlBoard(DCB)intheIlluminationProjectControlsubsystemisdevelopedonthebasisofdeepanalysisoftheframewkprincipleofstepscanlithography.AlltherelatedresearchactivitiesaresupptedbytheNationalHighTechR&D863p

3、rogramofChina.DCBfirmwareisstedinareadonlymemyunitoftheboarditcontrolsallthehardwareofDCB.Itsmaintaskiscontrollingtheexposuredosebyusinghighperfmancedosecontrolalgithm.Itsobjectiveisdeliveringaccuratelaserpulsesenergiest

4、owaferatrighttime.Thethesiscomprises3parts.FirstlyfunctionsofDCBfirmwarearedescribed.DosecontrolisthemostimptanttaskotherkeyfunctionsoffirmwarearegatheringBeamMeasuringdataduringexposureslaserinterfacingcontrollingtheVar

5、iableAttenuat.Secondlyexposuredosecontroltechniqueinstepscanexposuresystemisdiscussed.Dosecontrolprinciplefstepscansystemisanalyzed.Apulsetopulsedosecontrolalgithmisproposed.Experimentresultsindicatethatthisdosecontrolal

6、githmmeetstherequirementof100nmlithography.LastlyDCBfirmwareisimplementedbasedontheTMS320C6711DigitalSignalProcess.Everymoduleoffirmwareisdescribeddetailedpseudocodesflowtsareprovided.Atlastdriverfirmwarehardwareareteste

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