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1、隨著現(xiàn)代傳感技術(shù)與微納米測(cè)量技術(shù)的迅速發(fā)展,對(duì)高精度位移測(cè)量的需求與研究越來(lái)越多。光柵式位移傳感器以其量程大、精度和分辨率高、能用于動(dòng)態(tài)測(cè)量、易于實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、便于安裝和調(diào)整等眾多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)越來(lái)越普遍地受到人們的關(guān)注;而市場(chǎng)上有售的光柵測(cè)頭仍多為國(guó)外產(chǎn)品,且價(jià)格昂貴,難以推廣應(yīng)用。因此研制低成本的高精度光柵測(cè)頭具有較大的實(shí)用價(jià)值和很好的應(yīng)用前景。 本學(xué)位論文自主研制了一種光柵式位移測(cè)頭;在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)過(guò)程中,一方面遵循了阿貝原則,另一
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