自動(dòng)組合裝置的賦時(shí)有色佩特里網(wǎng)模型的建立、仿真與分析.pdf

1、近年來(lái)半導(dǎo)體制造業(yè)在全球范圍發(fā)展迅速。但是半導(dǎo)體極其復(fù)雜的制造過(guò)程導(dǎo)致了較高的行業(yè)壁壘和制造成本。制造過(guò)程中需要牽涉到上百道工序和許多關(guān)鍵核心設(shè)備,其中就包括了自動(dòng)組合裝置。自動(dòng)組合裝置是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備,往往也是瓶頸設(shè)備。對(duì)其進(jìn)行迅速而直觀的量化分析對(duì)提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率和制造成本的預(yù)測(cè)均有著重大意義。而獲得一個(gè)合理的分析結(jié)果的關(guān)鍵在于為自動(dòng)組合裝置建立合適的模型。該模型必須合理而簡(jiǎn)潔,能夠客觀反映自動(dòng)組合裝置運(yùn)行的物理過(guò)程和

2、狀態(tài),模擬晶圓走向并且通過(guò)仿真獲得晶圓運(yùn)行各狀態(tài)下的時(shí)間信息。所有的仿真過(guò)程能夠圖形化的顯示出來(lái),以便直觀的了解各單位在每個(gè)步驟的實(shí)時(shí)運(yùn)行狀態(tài)。有色賦時(shí)佩特里網(wǎng)的出現(xiàn)使其成為解決此類(lèi)建模問(wèn)題的有效途徑。佩特里網(wǎng)本身能用以對(duì)離散事件系統(tǒng)進(jìn)行模型建立,而其拓展集有色賦時(shí)佩特里網(wǎng)能夠支持類(lèi)似面向?qū)ο蟮奶匦?使得原來(lái)龐大復(fù)雜的網(wǎng)絡(luò)變得簡(jiǎn)潔而模塊化。函數(shù)功能的引入讓網(wǎng)絡(luò)能夠?qū)崿F(xiàn)更多更復(fù)雜的應(yīng)用。賦時(shí)特性能夠精確的描述不同事件發(fā)生的先后順序,讓精確